清潔實驗室-生物平安實驗室凈化工程解決方案

潔凈實驗室-生物安全實驗室凈化工程解決方案

1、光伏新能源硅片簡介

光伏新能源硅片是由硅片材料加工而成的一片光亮如鏡片，是生產半導體集成電路芯片的原材料。目前，微電子產業發展迅速，集成電路技術進入0.18微米以下時代，大大刺激了光新能源硅片的發展，同時對光新能源硅片性能參數的要求也大大提高，因此光新能源硅片的發展前景非常樂觀。

1.1光伏新能源硅片生產工藝

大方面，光伏新能源硅片生產包括硅單晶棒生產和光伏新能源硅片生產兩大部分，細分為以下主要工序:

ps#ps#大方面，光伏新能源硅片生產和光伏新能源硅片生產，硅片生產兩大部分，細分為以下幾個主要工序:#kdsps##ct#s_ps#cronds_pls#ds_plands#新能源硅片生產，從單晶片生產和晶片生產開發生產。以某日資硅制造商為例，介紹光伏新能源硅制造工序的空調凈化系統和自控系統的設計方案。

1.2分別生產工序環境控制要求

某硅片廠生產4~6英寸光伏新能源硅片，產量480萬片/年。該公司的光伏新能源硅片應用于分立部件、功率部件和特殊集成電路的制作。

2、空調凈化系統

whwccj空調凈化設計與工藝布局、生產流程緊密結合。不同類型、不同用途的現場空調凈化系統各有特點，介紹光伏新能源硅片生產工序的空調凈化系統方案。

#

2.1臺空調系統

#

#

#1臺切片室、倒角室、研磨室只有溫度控制要求，設置冷熱泵分體機柜式空調(PAC)保證房間溫度要求，室內機靠近車間，接風管，采用雙層百葉窗風口側送風機放置在室外。切片室排風量大，新風采用直接蒸發式熱泵型屋面空調S1-1和S1-2補充。現場有防塵要求，在空冷熱泵分體盤式空調的回風口設置中效過濾器(大氣塵計數效率:≥60%，≥1μm粒子)，同樣的屋頂式空調需要設置兩級過濾器。

其原理圖見圖:

2爐室、BSD室只有溫度控制要求，設置風冷電熱分體柜式空調(PAL)保證房間溫度要求，室內機靠近設置在車間，采用方形散流器頂部送風方式，室外機放置在屋頂上。新風被相鄰的潔凈室壓住了。現場有防塵要求，風冷電熱分體柜式空調回風口設置有效過濾器(大氣塵計數效率:≥60%，≥1μm粒子)。

3t片檢查室有溫度和濕度控制要求，設置空冷電熱分體柜式空調(PAL)保證房間溫度要求，室內機附近設置在現場，連接管道，采用方形散流器頂部送風方式的室外機設置在屋頂上。新風經新風單元(MAU-1、2)處理后，接送管道送到室內，相對濕度由新風單元保證。新風機組與凈化系統共享。現場有防塵要求，風冷電熱分體柜式空調回風口設置中效過濾器(大氣塵計數效率:≥60%，≥1μm粒子)，新風機組內設置粗、中效過濾器。

生物制藥凈化工程-GMP潔凈廠房工程解決方案

生物制藥凈化工程-GMP清潔廠房工程解決方案

2.2凈化系統

光伏新能源凈化工程系統用新風空調單元(MAU)和循環空調單元(AHU)的冷凍媒體采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的清潔蒸汽，清潔蒸汽是純水

1CP室凈化水平為7級，通風次數為30次/小時，CP室工藝設備酸多，采用新風空調單元(MAU-3)高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。其氣流流程為新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風機-送風管-高效過濾器送風-清潔區。

2ML室凈化水平為7級，通風次數為30次/小時，采用新風單元(MAU)循環單元(AHU)高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。新風從其他系統共享MAU-1、2新風組。

3CP/CVD室、LP/CVD室、清潔包裝室的凈化水平為6級，通風次數為50次/小時，采用新風單元(MAU)循環單元(AHU)高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。新風來自其他系統共享的MAU-1、2新風組。

47級、6級潔凈室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風口送風，房間側下百葉窗風口回風。那個氣流的流程是新的回風混合！中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-高效過濾器送風口-潔凈區-房間側下百葉窗回風口-回風管-新回風混合。

5k潔凈室，質量檢查室凈化水平為7級，采用新風單元(MAU)循環單元(AHU)風扇過濾單元(FFU)空調方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風，房間側下百葉窗風口回風。FFU滿布率為33%，潔凈室、質量檢查室對NH4、SQx濃度有要求，需要在循環單元(AHU)增設化學過濾器。五級凈化室的氣流流程為:新回風混合-化學過濾器(NH4)-化學過濾器(SQx)-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-送風機過濾器單元(FFU)-清潔區-房間側下百葉窗回風口-回風管-新回風混合。新風來自其他系統共享的MAU-1、2新風組。

6除去CP室外的潔凈室所需的新風采用2臺新風單元(MAU-1、2)集中處理，新風集中處理后送到各循環單元(AHU)。其氣流流程為新風入口-粗效果過濾器-中效果過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風機-送風管-各循環空調單元(AHU)。

7tcp室、ML室、潔凈室的酸量比較多，CP室、ML室內高效過濾器送風口的擴散板需要用不銹鋼板制作，潔凈室內的FFU網板需要用不銹鋼板制作。

8。質量檢查室應根據工藝要求采用黑色墻板、黑色頂板，相應采用黑色回風口，FFU網板應采用黑色網板。

3、凈化系統空調自動控制

新風單元(MAU-1、2)采用變頻風扇，由總送風管的靜壓傳感器控制變頻器。在訪問各風量和正壓控制循環單元(AHU)的新管道上設置電動調節閥，通過各潔凈室的正壓值調節電動調節閥的開度，使潔凈室的正壓值不隨生產設備的排氣量的變化而變化，電動調節閥的開度變化導致總輸送管道的靜壓變化

3.1凈化車間溫濕度控制

凈化生產車間濕度由新風機組MAU-1、2保證，控制新風機組的送風狀態點，根據送風狀態設定值調節干蒸汽加濕器的電動執行機構和表冷器和加熱器回水管的電動二通閥開度。露點溫度DPT由檢查室內濕度敏感元件HE連續整定。

凈化生產現場的溫度由循環單元AHU保證，根據室內溫度調節冷凍器回水管的電動二通閥的開度。

3.2供冷系統控制

t

冷凍水系統采用一級泵，以負載控制的方式確定冷水單元和應用泵、冷卻塔的開放臺數。根據設定供給、回水壓差，自動控制供給、回水主管之間的壓差流量旁通閥。

光伏新能源凈化工程-硅晶片清潔無塵車間解決方案鏈接:http:/si-sheng.com/9/

更多上一條:清潔實驗室-生物安全實驗室清潔工程解決方案下一條:汽車/航空清潔工程-無塵車間解決方案相關同類產品中央廚房清潔工程解決方案:無塵車間工程解決方案/無塵車間工程解決方案|無塵車間恒溫工程解決方案。

醫院手術室凈化工程-醫療潔凈室解決方案

醫院手術室凈化工程-醫療潔凈室解決方案