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發(fā)布時間：2021-07-06 22:29 人氣： 來源：http://si-sheng.com
| 潔凈度等級100級 | cleanliness class 100 | 高于或等于0.5μm的細顆粒物數(shù)超過350粒／m3(0.35粒/L)到不大于3500粒／m3(3.5粒/L)； | 高于或等于5μm的細顆粒物數(shù)為0 |
| 潔凈度等級1000級 | cleanliness class 1000 | 高于或等于0.5μm的細顆粒物數(shù)超過3500粒／m3(3.5粒/L)到不大于35000粒／m3(35粒/L) | 高于或等于5μm的細顆粒物數(shù)不大于300粒／m3(0.3粒／L) |
| 潔凈度等級10000級 | cleanliness class 10000 | 高于或等于0.5μm的細顆粒物數(shù)超過35000粒／m3(35粒/L)到不大于350000粒／m3 (350粒／L) | 高于或等于5μm 的細顆粒物數(shù)超過300粒／m3(0.3粒/L)到不大于3000粒／m3 (3粒/L) |
| 潔凈度等級100000級 | cleanliness class 100000 | 高于或等于0.5μm的細顆粒物數(shù)超過350000粒／m3(350粒/L)到不大于3500000粒／m3 (3500粒／L)； | 高于或等于5μm的細顆粒物數(shù)超過3000粒／m3(3粒／L)到不大于30000粒／m3(30粒／L) |
| 潔凈度等級300000級 | cleanliness class 300000 | 高于或等于0.5μm的細顆粒物數(shù)超過3500000粒／m3(3500粒／L)到不大于10500000粒／m3 (10500粒/L) | 超過 相當于5μm的細顆粒物數(shù)超過30000粒／m3(30粒／L)到不大于90000粒／m3 (90粒/L) |
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