ISO 14644 1-8潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境(中英完整版)

ISO 14644 1-8潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境(中英完整版)

前言，ISO是世界各國標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體(ISO會員團(tuán)體)的聯(lián)合會.

其國際標(biāo)準(zhǔn)工作一般由ISO各技術(shù)委員會執(zhí)行.

每個(gè)會員團(tuán)體對技術(shù)委員會的某個(gè)課題感興趣的話，有權(quán)成為這個(gè)技術(shù)委員會的代表.

與ISO保持聯(lián)系的國際組織，無論是政府還是非政府組織，都可以參加這項(xiàng)工作.

ISO與國際電氣技術(shù)委員會(IEC)在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面緊密合作.

，國際標(biāo)準(zhǔn)草案經(jīng)技術(shù)委員會批準(zhǔn)后，發(fā)送各會員團(tuán)體，等待表決.

草案作為國際標(biāo)準(zhǔn)，至少需要75%的會員團(tuán)體投票.

，國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1由ISO/TC209潔凈室和相關(guān)控制環(huán)境技術(shù)委員會提交.

第二部分，ISO的第一部分，第一部分，第一部分，第一部分，第二部分，第一部分，第一部分，第一部分，第二部分，第一部分，第一部分，第二部分，第一部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第一部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第二部分，第從工作計(jì)劃中刪除一部分或幾部分，其馀部分可以重新編寫.

，附錄b和c是ISO14644的構(gòu)成部分，附錄a、d、e和f只用于資料.

、、引言、潔凈室和相關(guān)控制環(huán)境保證空氣中懸浮粒子控制在適當(dāng)?shù)乃剑瓿蓪ξ廴久舾械幕顒?

以下行業(yè)的產(chǎn)品和技術(shù)由于空氣中浮游污染物的控制:宇宙、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品和健康食品.

ISO14644本部分指定ISO等級的各個(gè)等級，作為潔凈室和相關(guān)控制環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.

本部分不僅確定了空氣中懸浮顆粒測試的程序，還確定了測試的標(biāo)準(zhǔn)方法.

為了劃分等級，ISO14644的本部分僅限于確定粒子濃度限制值用的指定粒徑范圍.

本部分還提供標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，以大于或小于指定等級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級為基礎(chǔ).

ISO14644的本部分是潔凈室和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)之一.

除了懸浮顆粒的潔凈度外，還有很多因素需要考慮到潔凈室及其控制環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制.

這些內(nèi)容在ISO/TC209技術(shù)委員會制定的其他國際標(biāo)準(zhǔn)中有詳細(xì)的論述.

在某些情況下，相關(guān)管理機(jī)構(gòu)可能會規(guī)定一些補(bǔ)充政策或限制.

這可能需要適當(dāng)修改標(biāo)準(zhǔn)測試程序.

、潔凈室和相關(guān)控制環(huán)境——第1部分:空氣潔凈度的分級、金屬、1范圍、ISOboe14644的本部分根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度劃分潔凈室和相關(guān)控制環(huán)境中的空氣潔凈度的等級.只有在0.1μm-0.5μm的閾值(低于閾值)粒徑范圍內(nèi)積累分布的粒子組才能分級.

ISO14644的本部分不包括0.1μm-0.5μm規(guī)定粒徑范圍以外的粒子組的等級.

超微粒子(<0.

1μm)和大粒子(>0.

5μm)可以分別用u描述符和m描述符量化粒子組.

ISO14644的本部分不能用于懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性和生存性.

，注射粒徑遵守法律增加范圍內(nèi)粒子濃度的實(shí)際分布狀況通常是無法預(yù)測的，隨著時(shí)間而變化.

，2定義，以下定義適用于ISO14644的本部分，2.無線電，2.無線電，無線電，無線電，無線電，無線電，無線電，無線電，無線電，無線電、、2、1、清潔區(qū)、懸浮粒子濃度控制的限定空間.

空間的建設(shè)和使用方式應(yīng)盡量減少區(qū)域內(nèi)引進(jìn)、產(chǎn)生和滯留顆粒，空間內(nèi)其他相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求控制.

注:該區(qū)域可開放或密閉，可位于潔凈室內(nèi).，2.1.3、設(shè)施、潔凈室或一個(gè)或多個(gè)潔凈區(qū)，與所有相關(guān)建筑物、空氣處理系統(tǒng)、動力和公共設(shè)施相連.，2.2.1.分級4，適用于一個(gè)懸浮粒子的清潔度等級(或規(guī)定或確定該等級的過程)，用ISO等級n表示考慮的粒徑的最大允許濃度(pc/m3空氣計(jì)).

注1，這個(gè)濃度是3.

2中的公式(1)決定的.

注2根據(jù)本國際標(biāo)準(zhǔn)分級，限定在ISO的1級到ISO的9級.

注3適用于按本國際標(biāo)準(zhǔn)分級的粒徑(低閾值)范圍限于0.1μm-0.5μm.等級范圍以外的閾值粒徑的空氣清潔度可以用U或M描述符(見2.3.1或2.3.2)進(jìn)行說明和規(guī)定(但不是等級).

注4，ISO等級可以規(guī)定中間等級編號，最小允許增值0.

1，ISO1到8.9級.注5級可按3種占有狀態(tài)(見2.

4)規(guī)定或?qū)崿F(xiàn).，，2.2.懸浮粒子，2.命令2.命令1，粒子，用于空氣清潔度等級的固體或液體物體，其粒徑閾值(低限度)范圍為0.1μm-0.5μm，累積分布.，2.2.粒徑2，由給定的粒徑測定器響應(yīng)(與被測定粒子的響應(yīng)量)的球體直徑.

注射離散粒子的計(jì)數(shù)和光散射器使用當(dāng)量的光學(xué)直徑.，，2.2.3，粒子濃度，單位體積空氣中的單個(gè)粒子數(shù).，2.2.粒徑分布4，粒徑函數(shù)粒子濃度的累積分布.，2.2.2.5，超微粒子，當(dāng)量直徑小于0.

1μm的粒子.，，2.2.2.6，大顆粒，當(dāng)量直徑大于0.

5μm的顆粒，2.下降2.下降7，纖維，長寬比等于或大于10的顆粒.2.2.超微粒子濃度為pc/m3空氣計(jì)，即pc/m3空氣計(jì).

注射U描述符可以認(rèn)為是取樣點(diǎn)的平均值的上限(或者相信上限，可以確定清潔室和清潔區(qū)域特性的取樣點(diǎn)數(shù)).，2.3.m描述符，測量或規(guī)定的每m3空氣中大顆粒的濃度，用作測試方法特性的當(dāng)量直徑.

注，m描述符可以認(rèn)為是取樣點(diǎn)平均值的上限(或者相信上限，不能用m描述符來定義懸浮粒子的清潔度等級，但可以單獨(dú)引用或與懸浮粒子的清潔度等級一起引用.

、、、、、、、、、、、、，2.4.靜態(tài)，設(shè)施完成，生產(chǎn)設(shè)備完成，用戶和供應(yīng)商同意運(yùn)行，但沒有人.，2.4.動態(tài)，設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行，有規(guī)定數(shù)量的人在場，雙方同意的方式工作.

表1潔凈室和潔凈區(qū)選擇的懸浮粒子的潔凈度等級，2.

5thark的角色，2.

thark1，用戶負(fù)責(zé)規(guī)定潔凈室和潔凈區(qū)要求的組織及其代理.，2.5.2.供應(yīng)商，采用符合規(guī)定潔凈室或潔凈區(qū)要求的組織.

、、3、3、3、1、占有狀態(tài)、潔凈室和潔凈區(qū)域內(nèi)空氣粒子的潔凈度應(yīng)根據(jù)空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)三種占有狀態(tài)的一種或三種(見2.

4)進(jìn)行定義.

注意到空態(tài)適用于新建或新發(fā)行的潔室和清潔區(qū)域.

空態(tài)測試完成后，應(yīng)進(jìn)一步測試靜態(tài)或動態(tài)或兩種狀態(tài).、、3.2、等級、空氣中懸浮粒子的清潔度以等級序數(shù)n命名.

考慮粒徑d的各種粒子Cn的最大允許濃度由以下公式?jīng)Q定:、在公式中，Cn-大于考慮粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3空氣).

Cn以有效數(shù)量為三位四舍五進(jìn)入最接近的整數(shù).

n-ISO等級，最大不超過9.

ISO等級n之間的中間數(shù)可以以0.

1為最小允許增值規(guī)定.

d-微米(μm)計(jì)的選擇粒徑.0.1————————————————表1表示選擇的懸浮粒子的清潔度等級和表中考慮粒徑的粒子的相應(yīng)濃度限制值以上.圖A.1(見附錄a)以圖形表示選定的等級.

在有爭議的情況下，公式(1)得到的濃度Cn必須作為標(biāo)準(zhǔn)值.，3.3.3.潔凈室或潔凈區(qū)懸浮顆粒潔凈度的命名應(yīng)包括:，a)級別，以ISO小ClassN為b)分組時(shí)的占有狀態(tài):c)分級公式(1)測定的粒徑，分別考慮粒徑的0.1μm.的雙曲馀弦值.

，命名實(shí)例:ISO，Class4:動態(tài):粒徑:0.

2μm(2370pc/m3)，1μm(83pc/m3)，測定濃度的粒徑必須得到用戶和供應(yīng)商的同意.

測量一個(gè)以上的粒徑時(shí)，各大粒徑(例如D2)至少是下一個(gè)小粒徑(例如D1)的1.5倍.也就是說，D2≥1.

5分鐘×D1、啟動4分鐘、合并認(rèn)證、啟動1原則通過執(zhí)行用戶和供應(yīng)商雙方同意的指定測試程序，提供測試條件和測試結(jié)果的規(guī)定文件，認(rèn)證是否符合用戶規(guī)定的空氣清潔度(ISOclass)的要求.4.2測試，附錄b提供了認(rèn)證一致性的基準(zhǔn)測試方法.

也可以規(guī)定其他具有相似準(zhǔn)確性的方法，如果不就其他方法提出規(guī)定或達(dá)成一致意見，則應(yīng)采用標(biāo)準(zhǔn)方法.

應(yīng)采用校舍批準(zhǔn)的食品進(jìn)行一致認(rèn)證測試.4.3懸浮粒子濃度限制，4.

2完成測試后，按附錄c的公式計(jì)算平均粒子濃度和95%的信賴上限.

根據(jù)公式(C.

1)計(jì)算的平均粒子濃度不得超過3.

2中公式(1)確定的濃度限制值.

被認(rèn)為的粒子必須符合[3.

3注c]的規(guī)定.

另外，采樣點(diǎn)數(shù)至少為2個(gè)，但不超過9個(gè)的情況下，C.

3計(jì)算的95%的上限不得超過上述決定的濃度限制值.

注意附錄d中計(jì)算等級的工作例子.

考慮到各種粒徑用同樣的方法測定，認(rèn)證等級的粒子濃度限制值具有一致性.4.4.各潔凈室或潔凈區(qū)的測試結(jié)果應(yīng)記錄，以綜合報(bào)告形式提交，說明是否符合規(guī)定.

，測試報(bào)告應(yīng)包括以下內(nèi)容:，a)測試組織的名稱、地址和測試日期.，b).ISO14644部分的出版號碼和時(shí)代，ISO1464-1:當(dāng)前版本的日期.

，c)命令明確標(biāo)明了被測潔凈室或潔凈區(qū)域的實(shí)際位置(必要時(shí)包括附近的參考區(qū)域)和所有樣品坐標(biāo)的具體標(biāo)記.

，d)規(guī)定的潔凈室或潔凈區(qū)域命名標(biāo)準(zhǔn)，包括ISO等級、相關(guān)占用狀態(tài)和被考慮的粒徑.

，e)詳細(xì)說明測試方法，包括與測試相關(guān)的測試方法或偏離的測試方法和最近的樣品.

注意，如果超微粒子或大粒子的濃度已經(jīng)按照附錄e的說明量化，適當(dāng)?shù)馁Y料必須包括在測試報(bào)告中.

、、、ISO14644-1(附錄部分中文翻譯)、附錄a、(資料)、表1中等級的圖解形式、圖a.

1以圖解形式說明表1中的空氣清潔度等級，僅供演示使用.

表1中的ISO等待認(rèn)可等級在此用線表示該等級的考慮閾值粒徑的濃度限制，其依據(jù)是3.

2中式(1)進(jìn)行的計(jì)算.

因?yàn)榫€條顯示的只是近似的等級限制值，所以不能用于定義限制值.

限制值只能由公式(1)決定.

圖表的等級線不得超過實(shí)心圓符號.

實(shí)心圓符號是各ISO等級認(rèn)可的最大和最小粒徑限制值.

等級線并不意味著潔凈室和潔凈區(qū)域出現(xiàn)的實(shí)際粒徑分布.

、注1、注1、注1、注1、注1、注1、注1、注1、注1注意2，表示規(guī)定的ISO等級.

、、、附錄b、(標(biāo)準(zhǔn)部分)、.

采用離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀確定微粒子清潔度的等級，b.

1原理上選擇離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀確定在指定的采樣點(diǎn)以上或等于規(guī)定粒徑的懸浮粒子濃度.B.2儀器要求，B.2.1.1.1.1.1.1.1.1.1.1.1.000000000航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空航空、B.2.2、儀器標(biāo)定、、、、、、、、b.3的預(yù)測.測試條件，B.3.1.測試準(zhǔn)備，測試前，應(yīng)根據(jù)技術(shù)性能要求認(rèn)證潔凈室和潔凈區(qū)作為運(yùn)行的整體，完整、功能正常.

，預(yù)測工作一般包括:，a)空氣流量或流速測試，b)空氣壓差測試，c)圍護(hù)結(jié)構(gòu)泄漏測試，d)安裝的過濾器泄漏測試.B.3.2.2預(yù)測設(shè)備的配置，根據(jù)制造商的說明書進(jìn)行設(shè)備的配置和設(shè)備的預(yù)測試.，B.4采樣，BB4.1.確定采樣點(diǎn)位置，BB4.11111.根據(jù)公共bbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbbloook.

a，清潔室和清潔區(qū)的面積是M2.

注意水平單向流動時(shí)，面積a可視為與氣流方向垂直流動的空氣截面積.、B.4.1.2、、、、、、、、、、、、、，如果用戶規(guī)定增加采樣點(diǎn)，其數(shù)量和位置也必須規(guī)定.

注釋增加的采樣點(diǎn)被認(rèn)為是風(fēng)險(xiǎn)分析的關(guān)鍵.B.4.2.2確定各采樣點(diǎn)的采樣量，B.4.2.1指定的ISO等級最大考慮粒徑粒子濃度的限制值時(shí)，每個(gè)采樣點(diǎn)采集足夠的空氣量，保證至少能檢測出20個(gè)粒子.

醫(yī)院空氣凈化管理規(guī)范WS/T368―2012（全文完整）

醫(yī)院空氣凈化治理規(guī)范WS/T368―2012（全文完整）

，，每個(gè)取樣點(diǎn)的每個(gè)取樣量VS用以下式確定:，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，Cn.

m--關(guān)聯(lián)等級規(guī)定的最大考慮粒徑等級限制值(pc/m3空氣).

20、粒子濃度處于這個(gè)等級的限制值時(shí)，可以檢測到的粒子數(shù).

注:VS值大時(shí)，取樣時(shí)間可能會變長.

利用順序采樣程序(見附錄f)可以減少要求的采樣量，減少采樣所需的時(shí)間.B.4.2.2，每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量至少為2升，采樣時(shí)間至少為1分鐘.，B.4.3采樣程序，B.4.3.1，根據(jù)制造商的說明書和儀表標(biāo)定證明書，調(diào)定粒子計(jì)數(shù)器(B2.1，B.4.3.2，根據(jù)制造商的說明書和儀表標(biāo)定證明書，將粒子計(jì)數(shù)器(B2.1，B.4.3.2，向下采樣探針的位置插入空氣流.

被采樣的氣質(zhì)方向沒有被控制或無法預(yù)料的情況下，采樣控制頭的入口必須垂直向上.B.4.3.3，每個(gè)采樣點(diǎn)，按B4.

2確定的最小采樣量采樣.B.4.3.44，當(dāng)只要求一個(gè)樣品點(diǎn)(B4.

1)時(shí)，至少要求三次樣品.，B.5結(jié)果記錄，B.5.1.每個(gè)采樣點(diǎn)的粒子平均濃度，B.5.1.1，采樣測量結(jié)果與空氣清潔度等級相關(guān)的各個(gè)考慮粒徑濃度(3.3)記錄.在計(jì)算95%的上限之前，請注意B6.1的要求.B.5.1.2、只使用一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，計(jì)算并記錄各考慮材料徑的采樣數(shù)據(jù)平均值(B.4.3.4).B.5.1.3、在一個(gè)采樣點(diǎn)采集2次以上采樣時(shí)，按照C.

2給定的程序，從每次采樣粒子濃度(B.5.1.1)計(jì)算各采樣點(diǎn)考慮粒徑的平均粒子濃度，記錄結(jié)果.B.5.2計(jì)算95%的信用上限(UCL)的要求，B.5.2.1，采樣點(diǎn)在1個(gè)以上，不足10個(gè)時(shí)，按照C.

3給定的程序，從各點(diǎn)的平均粒子濃度(B.5.1)計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)誤差和95%的信用限制.B.5.2.2，抽樣點(diǎn)只有1個(gè)，或者9個(gè)以上，不計(jì)算95%的信用上限.、、B.6整理、B.6.1分級要求、選拔、選拔、選拔、選拔、選拔、選拔、選拔、選拔、選拔、選拔、選擇、選擇、選擇、選擇、選擇、選擇、選擇、選擇、選擇、選擇、選擇、選擇，如果測試結(jié)果不符合規(guī)定的空氣清潔度，可以增加均勻分布的采樣點(diǎn)進(jìn)行測試.

再次計(jì)算的結(jié)果，包括增加的采樣點(diǎn)數(shù)據(jù)，判斷確立潔凈度等級.B.6.2界外處理，95%相信上限(UCL)的計(jì)算結(jié)果可能不符合規(guī)定的ISO等級.

由于(程序上的誤差或設(shè)備功能不良)測量錯(cuò)誤或(由于空氣異常清潔)異常低的粒子濃度而產(chǎn)生單一的單一機(jī)械性界外值，在符合以下條件的情況下，可以排除該界外值:、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、在取樣點(diǎn)，粒子濃度值的大差異可能是合理的，也可能是故意的，這取決于需要測量清潔設(shè)施的應(yīng)用性質(zhì).

、、、附錄c、(標(biāo)準(zhǔn)部分)、、、粒子濃度數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)處理、c.

1通則、無論如何，無論如何，無論如何，無論如何，無論如何，無論如何，無論如何).，C.2計(jì)算某采樣點(diǎn)(西安)平均粒子濃度的算法，當(dāng)采樣點(diǎn)多次采樣時(shí)，應(yīng)使用公式(C.

1)確定該點(diǎn)的平均粒子濃度.

平均顆粒濃度的計(jì)算應(yīng)在采樣次數(shù)不低于2次的各采樣點(diǎn)進(jìn)行.

、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、1————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————在這種情況下，應(yīng)該使用公式(C.

1)的算法和本方法.C.3.2.2平均總平均值.

kd_img6，.用公式.2.確定平均總平均值.平均值.平均值.(C.2).————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————————，C.3.3取樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差(S)，通過公式(C.

3)確定取樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差.

————————————表C.

1提出了95%的信賴上限(UCL)的研究t分布系數(shù)(t0.95).此外，統(tǒng)計(jì)計(jì)算機(jī)程序中的學(xué)生T分布也是合格的.，，表C.195%相信上限(UCL)研究t的分布系數(shù)，無、無、無、無、無、無、無、無、無、無、無、無、無、無、無、無、無需要確定動態(tài)下是否符合規(guī)定的懸浮粒子的清潔度等級.

該潔凈室規(guī)定的空氣潔凈度等級為ISO，Class5(5級).D.1.2、被認(rèn)為粒徑為0.

3μm(D1)和0.

5(D2)μm，a2個(gè)粒徑在ISOClass5的粒徑范圍內(nèi)，(見3.

3c)和表1:0.1μm≤0.3μm，0.5μm≤5μm，b)的粒徑是否符合粒徑要求，D2≥1.

5XD1(3.3):0.5μm(1.5X0.3μm=0.45m)，D.1.3，#kdk金_img10，，.D.4.采樣分?jǐn)?shù)按照公共關(guān)系計(jì)算.

#kdg11#計(jì)算.

因此，采樣分?jǐn)?shù)至少為9分.

金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金，金因?yàn)椴蓸狱c(diǎn)數(shù)不足10，所以用附錄c計(jì)算95%的上限是適用的.，D.1.5，.單次采樣量V升計(jì)按公式B.2.2計(jì)算，按公式B.2.2.2計(jì)算，按照公式B.2.2.2計(jì)算，按照公式B.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.1.2.1.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.1.2.2.1.2.2.2.1.2.1.2.2.1.2.2.2.1.2.2.2.2.1.2.2.2.1.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.1.2.2.2.1.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.1.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.1.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.測量中得到的計(jì)數(shù)記錄如下(B.5.1.1).，，D.1.7，根據(jù)原始數(shù)據(jù)(D.1.6)計(jì)算粒子pc/m3，西安:0.3μm和0.5μm計(jì)算的濃度值低于D.1.3確定的限度值，滿足等級的第一部分(B.6.1)的要求，因此可以根據(jù)附錄C95%的限度計(jì)算.、、、D.1.8、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、平均總平均值應(yīng)按公式(C.

2)計(jì)算(見C.3.2).≥0.3μm的粒子:3#，d.1.9，根據(jù)公式(C.

3)計(jì)算取樣點(diǎn)平均的標(biāo)準(zhǔn)誤差(C.3.3).0.3μm的粒子:，4，四舍五入382pc/m3，D.1.10，上限(UCL)(C.3.4)計(jì)算95%.

單個(gè)平均采樣點(diǎn)m=9，表c.

1中的分布系數(shù)t=1.9.5#，D.1.11，按b.6.1整理結(jié)果.D.1.7中各單次取樣量的顆粒濃度低于規(guī)定的等級限值.在D.1.10中，計(jì)算的95%相信上限值也低于D.1.3中規(guī)定的等級限值.

因此，該潔凈室懸浮粒子的潔凈度符合要求水平.、、D.2實(shí)例2、D.2.1、鐘、本實(shí)例目的是證明95%UCL的計(jì)算對結(jié)果的影響.

，，某潔凈室規(guī)定懸浮粒子的潔凈度為ISO，動態(tài)，采樣點(diǎn)數(shù)為5個(gè).

采樣點(diǎn)數(shù)在1個(gè)以上，在10個(gè)以下，應(yīng)按附錄c計(jì)算95%的信用上限.

，，只考慮一種粒徑(D≥0.1μm).，D.2.2，，ISO3級，粒徑≥0.

1μm，從表1取粒子濃度限值，Cn(≥0.

1μm)=10000pc/m3，D.2.3，從表1取粒子濃度限值，按(B.5.1.1)記錄各點(diǎn)的粒子濃度Xip/m3，并記錄如下.

是、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、因?yàn)檫@個(gè)結(jié)果符合等級的第一部分(B.6.1)，所以可以用附錄c計(jì)算95%的信用上限.，，D.2.4，平均值的總平均值按公式(C.

2)計(jì)算(見C.3.2).6#、D.2.5、.根據(jù)公式(C.

3)計(jì)算樣品點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)誤差(C.3.3):7#、D.2.6、公式(C.

4)計(jì)算95%的信用上限(UCL)(C.3.4):、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、.D.2.2).，但是，95%的人相信上限的計(jì)算表明該潔凈室懸浮粒子的潔凈度不符合規(guī)定的水平.

，根據(jù)95%UCL的計(jì)算結(jié)果，單采樣界外低粒子濃度(即采樣點(diǎn)5)的影響.

，因?yàn)榭諝馇鍧嵍鹊燃壍牟灰恢滦圆捎昧?5%UCL，單次采樣的低粒子濃度，可以根據(jù)B.6.2的程序確定是否無效.

、、、附錄e、(資料部分)、、對等級表粒徑以外粒子粒徑和計(jì)數(shù)的考慮，e.

1通則，如果與具體技術(shù)要求相連，則可以根據(jù)等級表粒徑范圍以外的粒子組規(guī)定另外適用的空氣清潔度等級.

用戶和供應(yīng)商應(yīng)就此類顆粒最大允許濃度和選擇驗(yàn)證匹配性的測試方法等問題達(dá)成一致.在E.2(U說明符)和E.

3(M說明符)中，考慮了測試方法和規(guī)定的技術(shù)要求形式.、、E.2小于0.1μm的粒子(超微粒子)的評價(jià)——U說明符、E.2.1.應(yīng)用、微粒子小于0.

1μm的粒子造成的污染危險(xiǎn)，應(yīng)采用適合這種粒子具體特性的采樣裝置和測量程序.，根據(jù)B.4.1確定取樣點(diǎn)的數(shù)量，最小取樣量Vs為2L(B.4.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2.2u描述符以u(x)y)的形式表示，其中，、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、例如，粒徑范圍最大允許超微粒子的濃度為14000個(gè)pc/m3，其標(biāo)志為u(140000個(gè)0.1μm.注1在IEST-G-CC1002[1]中提供了不足0.

1μm的懸浮粒子濃度測試方法.

注2用u描述符作為懸浮粒子的清潔度水平的補(bǔ)充，超微粒子的濃度(x)不得小于規(guī)定的ISO水平的0.1μm.，e.3大于5μm的粒子(大粒子)的評價(jià)——m說明符，e.3.1應(yīng)用，對超過5μm的粒子造成的污染危險(xiǎn)進(jìn)行評價(jià)，應(yīng)采用適合這種粒子具體特性的采樣裝置和測量程序.

，懸浮顆粒群體中的大顆粒主要是在工藝環(huán)境中釋放的顆粒.

應(yīng)根據(jù)具體應(yīng)用確定適用的采樣裝置和測量程序.

需要考慮的因素有顆粒的密度、形狀、容積和空氣動力特性.

也可能需要特別強(qiáng)調(diào)的總懸浮粒子中的特殊成分，如纖維.E.3.2.2M記述符的形式，可以單獨(dú)使用，也可以作為懸浮粒子的清潔度水平的補(bǔ)充使用.

m描述符用m(a)b).

c的形式表示，其中，大粒子的最大允許濃度(以大粒子pm3的空氣表示)，b——當(dāng)量直徑(或直徑)，與規(guī)定的測量大粒子的方法有關(guān)(以微米表示)，注1采樣的懸浮粒子組中含有纖維，M描述符可以添加單獨(dú)的纖維用描述符，表示形式為Mfiber(b):c.

例如，如果使用測定粒子空氣動力直徑的浮游氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器，粒直徑范圍為≥5μm的浮游粒子濃度為1000pc/m3時(shí)，其標(biāo)志符為m(10000>5μm)的浮游氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器.

例如，如果使用多級沖擊取樣器，用顯微法測定粒徑并計(jì)數(shù)，粒徑范圍為10-20μm的懸浮粒子濃度為1000μmpc/m3，則標(biāo)志符為m(1000.

10-20μm的多級沖擊取樣器注2在IEST-G-CC1003[2]中提供了超過5μm的懸浮粒子濃度的測試方法.

注3用m描述符作為懸浮粒子的清潔度水平的補(bǔ)充，大粒子的濃度(a)不得超過規(guī)定的ISO水平的5μm.

、、、附錄f、(資料)、、順序樣品法、F.

1的背景和局限性、F.1.1.1的背景、挑選樣品的空氣污染程度明顯大于或小于考慮粒徑的規(guī)定水平濃度，采用順序樣品法通常可以大幅度減少樣品量和樣品時(shí)間.

試圖接近規(guī)定的限制值時(shí)，也可以節(jié)一定程度的采樣量和時(shí)間.

順序采樣法最適合空氣清潔度預(yù)期達(dá)到ISO的4級或更清潔的環(huán)境.

注意順序采樣法的進(jìn)一步資料，看IEST-G-CC賽1004[3].F.1.2的局限性(順序采樣法的主要局限性為:)，a)這種方法只適用于考慮粒徑的粒子在規(guī)定等級和濃度限制值時(shí)，每次測量20粒的采樣.

b)每次采樣測量需要輔助監(jiān)視和數(shù)據(jù)分析，可以用計(jì)算機(jī)自動進(jìn)行.

c)由于采樣量減少，粒子濃度的確定不如通常的采樣法正確.、、F.2順序采樣法的依據(jù)是，該方法基于實(shí)時(shí)累積粒子計(jì)數(shù)和參考計(jì)數(shù)的對比.

參考值是求上下限值的公式，得出的.上限值是3.961.961.03ET-下限值的公式.考.兩種形式均可采用9#，表F.1.時(shí)間應(yīng)達(dá)到c觀察計(jì)數(shù)值時(shí)的上下限值，在計(jì)數(shù)值的總粒子計(jì)數(shù)值作為規(guī)定的計(jì)數(shù)值的上下限值進(jìn)行比較.

如果正在計(jì)數(shù)的總數(shù)值低于與已采樣量相應(yīng)的參考限值，則認(rèn)為正在采樣的空氣符合規(guī)定的等級或濃度，并停止采樣.

，如果正在計(jì)數(shù)的總數(shù)值高于與采樣量相應(yīng)的參考限制值，則采樣的空氣被認(rèn)為不符合規(guī)定的等級和濃度，采樣停止，只要計(jì)數(shù)的數(shù)值在上下限之間，采樣就會連續(xù)進(jìn)行，直到整個(gè)采樣累積為止.，圖F.1描繪了計(jì)數(shù)值c和期待計(jì)數(shù)值e的關(guān)系.

期待計(jì)數(shù)值e是在測量所有單一采樣空氣的時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生20個(gè)計(jì)數(shù)的流量(容積/時(shí)間)時(shí)采樣空氣的計(jì)數(shù)，濃度合考慮粒徑的規(guī)定限制值.啊，F(xiàn).1提供了一等效果的方法.

將觀察計(jì)數(shù)c的時(shí)間與表中測量的所有單次采樣空氣要求的增加時(shí)間進(jìn)行比較.

計(jì)數(shù)的出現(xiàn)比表中預(yù)期的時(shí)間早的話，采樣的空氣不符合規(guī)定的限制值.

計(jì)數(shù)的出現(xiàn)遲于表中的期待時(shí)間，采樣的空氣符合規(guī)定的限制值.

最多要求21次顆粒得出時(shí)間與表中限定時(shí)間的對比.、、F.3采樣程序、F.3.1順序采樣基準(zhǔn)、、、、、、、進(jìn)展式計(jì)算機(jī)化的數(shù)據(jù)分析比較好，這里推薦使用.F.3.2圖形采樣比較，表示根據(jù)公式(F.1)和(F.2)構(gòu)筑的界限.

到E=20為止，表示收集-全采樣量所需的時(shí)間，C=20是允許的最大觀察數(shù)值.

，觀察到計(jì)數(shù)值比粒子濃度準(zhǔn)確等于規(guī)定水平的空氣預(yù)期計(jì)數(shù)值.

經(jīng)過的時(shí)間與預(yù)計(jì)值的增加數(shù)相對應(yīng)，E=20表示粒子濃度為等級限制值時(shí)，累積——全采樣量所要求的時(shí)間.

，隨著采樣的進(jìn)行，記錄作為時(shí)間函數(shù)的粒子計(jì)數(shù)，將該計(jì)數(shù)與圖F.

1中的上下線進(jìn)行比較.

當(dāng)累計(jì)觀察到計(jì)數(shù)與上限線交叉時(shí)，該點(diǎn)采樣停止，空氣被認(rèn)為與規(guī)定等級限值不符.

如果累計(jì)觀察到計(jì)數(shù)與下限線相交，則該點(diǎn)采樣停止，空氣被認(rèn)為符合規(guī)定等級限值.

如果累計(jì)觀察到計(jì)數(shù)保持在上下限線之間，采樣將繼續(xù)進(jìn)行.

，如果在規(guī)定的采樣期結(jié)束時(shí)總數(shù)為20或不足20，并且沒有與上限線相交，則空氣被認(rèn)為符合等級限制值.F.3.3圖表采樣比較，為此提供了有效的采樣方法.

基于公式(F.1)和(F.2).表中的時(shí)間T給予了10000的值，表示完整的單次采樣期.

空氣中含有考慮粒徑的正確等級限制值的當(dāng)量濃度時(shí)，此次采樣量是提供20個(gè)粒子所需的量.

表中列出的時(shí)間值是累積單次取樣所需的總時(shí)間的小部分.，f.1中順序采樣法的程序如下:，根據(jù)采樣記錄，將每次觀察到的時(shí)間與表達(dá)式的兩列時(shí)間進(jìn)行比較.

如果與表左側(cè)的一排相比，證明給出的累計(jì)觀察到計(jì)數(shù)的出現(xiàn)比預(yù)期時(shí)間早，該點(diǎn)采樣停止，空氣被認(rèn)為與規(guī)定等級限值不符.

假如與表格右側(cè)的一相比，證明累計(jì)觀察到計(jì)數(shù)的出現(xiàn)遲于預(yù)期時(shí)間，該點(diǎn)采樣停止，空氣被認(rèn)為符合規(guī)定等級限值.

累計(jì)觀察到計(jì)數(shù)連續(xù)出現(xiàn)在兩列時(shí)間之間，采樣繼續(xù)進(jìn)行.

如果與表左側(cè)的一列相比21次，計(jì)數(shù)仍在繼續(xù)，沒有比預(yù)期時(shí)間早的計(jì)數(shù)，空氣符合所有單次采樣的規(guī)定限制值.

，前言，文章來源:http://www.

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