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電子潔凈室氣壓要求及控制篇

發布時間:2021-07-06 22:49 人氣: 來源:http://si-sheng.com

 
      針對絕大多數電子產業清潔室內空間,為了更好地操縱一定的潔凈度等級,必須避免 外部環境污染入侵,因此 要維持

內部的工作壓力(負壓)高過外界的工作壓力(負壓)。那樣外部的環境污染就不容易入侵房間內。在其中壓差的維

持一般應合乎下列標準:


                      潔凈廠房
 
1 清潔室內空間的工作壓力要高過非清潔室內空間的工作壓力。
 
2.潔凈度等級等級高的室內空間的工作壓力要高過鄰近的潔凈度等級等級低的室內空間的工作壓力。
 
壓差的保持借助排風量,這一排風量要能賠償在這里一壓差下從間隙漏泄掉的排風量。因此 壓差的物理學

實際意義便是漏泄(或滲入)排風量根據凈化室的各種各樣間隙時的摩擦阻力。



凈化室中的氣旋速率要求:

     這兒要探討的氣旋速率就是指清潔房間內的氣旋速率,在別的清潔室內空間中的氣旋速率在探討實際機器設備時再聊

明。
針對亂流凈化室 因為主關鍵靠氣體的稀釋液功效來緩解室內空氣污染的水平,因此 關鍵用換風這一概

念,而不直
接用速率的定義,但是對對流傳熱速率也是有以下規定;
 
(1)正壓送風口出入口氣旋速率不適合很大,和單純性中央空調屋子對比,規定速率衰減系數更快,蔓延視角更高 。
 
(2)吹過平面的氣旋速率(比如側送時流回速率)不適合很大,以防吹動表層粒子重回氣旋,而導致再污

染,這一速率一般不適合奮戰0.兩米/s。

 
針對平行面流凈化室《習慣性上稱層.流凈化室),因為關鍵靠氣旋的“活塞桿打擠壓成型功效清除行染,因此 橫截面上的

速率便是十分關鍵的指標值。以往都參照英國40gB規范,選用0.45m/s.但大家也都掌握到那樣大速率所需

要的自然通風量是巨大的,為了更好地環保節能,也都是在探索減少速一風力的可行性分析。


潔凈室設計標準圖
 
在中國,《空氣潔凈技術措施》和<凈化車間設計標準))全是那樣要求的
豎直平行面流(層.流)凈化室≥0.25m/s

             層流潔凈室示意圖

 
水準平行面流(層.流)凈化室≥0.35 m/s

潔凈室水平層流示意圖

               

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