電子光學微電子技術凈化工程設計方案解決方法

  電子光學微電子技術凈化工程之界定為將一定室內空間范疇內之空氣中的浮塵顆粒、有危害氣體、病菌等之空氣污染物清除，并將房間內之溫度濕度、潔凈度等級、房間內工作壓力、氣旋速度氣旋遍布、噪聲振動及照明燈具、靜電感應操縱在某一要求范疇內，而所給于尤其設計方案之密閉空間。

  電子光學微電子技術凈化工程亦名潔凈室或清靜室，現階段已經是半導體材料、精密制造、lcd屏生產制造、電子光學生產制造、pcb線路板生產制造和細胞生物學、藥業、食品類生產制造等領域必不可少的關鍵設備。近年來，因為技術性之改革創新，針對商品的高精度化、細微型化之要求更加急切，如特大型積體電路之科學研究生產制造，已變成世界各地在智能科技上極其高度重視的新項目，可是我企業的設計構思及施工工藝在領域中則處在領先水平。

  一、電子光學微電子技術凈化工程一般包含：

1、 無塵廠區

2、 無塵輔助間（包含工作人員凈化處理用地、原材料凈化處理專室和一部分日常生活專室等）不銹鋼風淋室

3、 工業園區（包含辦公室、值勤、管理方法和歇息等）

4、 機器設備區（包含空調凈化系統應用、電氣設備用地、工業純水和高純度氣用地、熱冷機器設備用地）

  二、電子光學微電子技術凈化工程凈化處理基本原理：

  氣旋→初效空氣過濾網凈化處理→中央空調→中效過濾器空氣過濾網凈化處理→離心風機排風→管路→高效率空氣過濾網凈化處理出風口→吹進屋子→帶去浮塵病菌等顆粒物 → 送風百葉窗簾→初效空氣過濾網凈化處理 反復之上全過程，就可以做到凈化處理目地。

  電子光學微電子器件潔凈工程凈化處理主要參數：換風：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓力差：主生產車間對鄰近屋子≥5Pa；均值風力：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬天＞16℃；夏天 <26℃；起伏±2℃。

溫度45－65％；GMP顆粒劑生產車間環境濕度在50％上下為宜；電子器件生產車間環境濕度略高以防造成靜電感應。噪音≤65dB（A）；新風系統填補量是總送排風量的10％－30％；光照強度300LX。

  三、電子光學微電子技術潔凈工程構造原材料：
1、凈化處理凈化車間/工業廠房房墻、頂板才一般多采用50毫米厚的夾心彩鋼板生產制造，其特性為美觀、剛度強?；⌒螇?角、門、窗子等一般采用專用型空氣氧化鋁合金型材生產制造。
2、路面可采用環氧樹脂自流坪環氧地坪或高級耐磨損塑膠地板，有防靜電規定的，可采用防靜電型。
3、送回風口用熱渡冷軋鋼板做成，貼凈化處理隔熱保溫效果非常的好的阻燃性型PF聚氨酯發泡塑料板材。
4、高效過濾器用不銹鋼板架構，美觀清理，沖孔網板用噴漆鋁合金板，不銹蝕不粘塵，宜清理。

  四、電子光學微電子技術潔凈工程解決方法:
  潔凈工程的設計過程中，應提升對電子光學微電子技術領域潔凈工程方案設計剖析掌握,依據該工程項目是新創建工程項目或是是舊工業廠房改建工程，并融合其實際的生產工藝流程、生產工藝流程等規定明確其必須的潔凈度等級、溫度濕度。再依據該工程項目的詳細情況，另外也要充分考慮生產商的經濟發展承受力，綜合性多種要素來明確采用哪種凈化處理計劃方案，那樣才可設計方案出一個能達到招標方生產制造應用規定、工程預算有效、經濟發展環保節能好用的計劃方案。
  1、整體式氣體解決發電機組 制冷機組 高效過濾器：
  這是一個最傳統式的空調凈化系統軟件的方案設計。整體式氣體解決發電機組里帶有各種各樣作用段，如混和段、初效過慮段、表冷段、二次送風段(或正中間段)、加溫段、增濕段、中效過濾器過慮段、離心風機段等。其蓄冷由制冷機組給予。
  優勢：A.氣體解決效果非常的好，因氣體歷經集中化運輸，在排風全過程中被環境污染程度低。排風的溫度、環境濕度的操縱較為精準;B.較為適用有集中化蓄冷的或者很大的工業廠房;C.中央空調冷熱原可與工業廠房一般空調機組共用或單獨冷熱原;D.檢修頻率較低;E.生產車間的噪音低。

  缺陷：A.必須有配套設施的冷凍機房或有置放水源熱泵機組的戶外室內空間。另必須有置放整體式氣體解決發電機組的潔凈空調機房，如25000M3/h的整體式氣體解決發電機組，常見尺寸為6450×1850×2250毫米上下。針對舊工業廠房更新改造新項目而言較為艱難空出一個20-30┫的主機房的;B.工程造價高。

  特性：A.提議新風系統歷經集中化運輸后再與送風混和，那樣能夠降低表冷段的冷暴力壓力;B.這種計劃方案一般能夠可用潔凈度等級較高的如千級、百級或千級、十萬級等較低的凈化處理凈化車間/工業廠房。

  2、電子光學微電子技術領域潔凈工程方案設計剖析之水冷藏柜機 增加箱式風機 高效過濾器
  與前種計劃方案較為，它是相對性非常簡單的中央空調計劃方案。它能夠大大的地變小主機房的總面積，水冷藏柜機能夠依據實際的狀況布局于較小主機房內或凈化車間內，增加箱式風機還可以布局于主機房內或吊在主機房內或在隔層內。

  優勢：A.氣體解決實際效果不錯的，解決之后的氣體在排風全過程中被環境污染水平低。排風的溫度、環境濕度操縱實際效果能夠做到不錯的操縱。關鍵在氣體解決發電機組(增加箱式風機)里開展操縱;B.布局靈便。內置蓄冷;C.尺寸工業廠房、新老工業廠房都可用;D.檢修頻率較低;E.生產車間噪音低。

  缺陷：A.必須小總面積的主機房。必須有玻璃鋼冷卻塔、制冷離心水泵的放置部位;B.制冷機組與中央空調解決發電機組要集中化布局;
C.工程造價較低。特性：這類計劃方案能夠是一次送風還可以是二次送風，實際依據生產車間的尺寸狀況而定;這類計劃方案一般能夠適用潔凈度等級為百級、千級、十萬級等的凈化處理凈化車間/工業廠房。

  3、電子光學微電子技術領域潔凈工程方案設計剖析之分體式空調柜機 FFU正壓送風口
  它是最簡單的一個中央空調計劃方案。是立即將分體式空調柜機布局于生產車間內，并且用彩剛圍護結構起來，在柜式空調送風口處再在彩鋼瓦上切送風口(帶初效濾網);KLC離心風機過慮模塊FFU勻稱布局于天花板吊頂。這一計劃方案適用對房間內溫度濕度精密度規定不太高的凈化車間。

  優勢：A.不用占有主機房總面積，布局很靈便的;B.能夠達到氣體的潔凈度等級;C.工程造價最少。這般類凈化車間初項目投資約必須四十萬;D.排風勻稱度好。

  缺陷：A.溫度濕度操縱較弱;B.能夠達到氣體的潔凈度等級;C.FFU的檢修頻率高。

  五、電子光學微電子技術領域潔凈工程方案設計剖析之凈化車間的特性

  A、凈化車間的 潔凈度等級:

  LCD制屏的簡單步驟為：清理→包裝印刷趨向膜→摩擦→密封性包裝印刷層散播隔墊物→組成→畫線和激光切割→LC引入→貼偏振片→制屏全檢。在本設計方案里就是指尾端加工工藝的一些凈化車間，其凈化處理潔凈度等級一般為百級或千級或十萬級。背光屏類凈化車間主要是這產品的沖壓模具生產車間、拼裝等凈化車間，其潔凈度等級一般為千級或十萬級。

  B、室內空氣質量主要參數規定 ：

(1)、溫度濕度規定：溫度一般為24 2℃，空氣濕度為55 5%。
(2)、排風量大。因為這類生產車間內，工作人員比較多，能夠依據下列標值應取以下的最高值：非單邊流凈化室總送排風量的10-30%;賠償房間內排風系統和維持房間內正壓力值所需的清新空氣量;確保房間內每個人每鐘頭的新鮮 氣量≥40m3/h。
(3)、排風量大。為了更好地達到無塵房間內的潔凈度等級及濕熱均衡，必須很大的送排風量，就300平米的生產車間，吊頂高度為2.5米的，如果是千級，送排風量就必須300×2.5×30=22500M3/h的送排風量(換風，是≥25次/h);如果是十萬級，送排風量就必須300×2.5×20=15000M3/h的送排風量(換風，是≥15次/h)。

  六、電子光學微電子技術領域潔凈工程設計方案計劃方案剖析

  針對基本電子器件工業廠房凈化室中央空調的設計方案，應依據電子器件工業廠房的生產工藝流程規定及招標方的經濟發展標準來采用哪一種空調設計計劃方案，以達到生產工藝流程的規定做為前提條件。依據過去工作經驗，針對規定高的能夠采用整體式氣體解決發電機組集中化運輸的中央空調計劃方案;針對規定不太高的，又要初項目投資低的，能夠采用柜式空調 FFU?？偠灾瑢嶋H的計劃方案挑選依據詳細情況而定。