什么是空態、靜態、動態-潔凈室檢測狀態說明(IQ、OQ、PQ)

什么是空態、靜態、動態-潔凈室檢測狀態說明(IQ、OQ、PQ)

潔凈現場設計規范(GBJ73-84)(潔凈室設計標準)舊版全文，潔凈現場設計規范，中華人民共和國國國家標準，GBJ73-84，主編部門:中華人民共和國電子工業部，批準部門:中華人民共和國國家計劃委員會，實施日期:1985年6月1日，關于發布《潔凈現場設計規范》的通知，計劃19842483日，根據原國建設委員會(78)建設字第562號文的要求，電子工業部門共同編制的《潔凈現場設計規范》部門已經審查了.

現批準清潔現場設計規范GBJ73-84為國家標準，從1985年6月1日開始實施.

本規范由電子工業部管理，其具體說明等工作由電子工業部第十設計研究院負責.

國家計劃委員會于1984年12月1日制定說明，本規范根據原國家基本建設委員會(78)建設字第562號文的要求，由我部負責主編.

具體由我部第十設計研究院與機械工業部第十一設計研究院、航空工業部第四計劃設計研究院、電子工業部第十一設計研究院、兵器工業部第五設計研究院、中國船舶工業總公司第九設計研究院、航天工業部第六設計研究院、化工部第六設計研究院、中國有色金屬總公司北京有色金設計研究院、中國建筑科學研究院和哈爾濱建筑工程研究院等部門共同編制.

在編制過程中，規范編制組進行了廣泛的調查研究，認真總結了中國清潔現場建設和使用的實踐經驗，組織了有關機構開展必要的科學考試研究，廣泛征求了全國有關機構的意見.

最后，我部與有關部門審查原稿.

本規范分為八章和七個附錄，主要內容包括總規則、空氣清潔度等級、整體設計、建筑、空氣凈化、供水排水、工業氣管、電氣等.

鑒于本規范系的初次編制，在執行過程中，希望各部門結合工程實踐和科學研究，認真總結經驗，發現需要修正和充實的地方，將意見和相關資料送到本部第十設計研究院，以供今后修正時參考.

電子工業部，一九八四年八月二十七日，潔凈現場設計規范，目錄，第一章總則，第二章壓縮空氣潔凈度等級，第三章壓縮總體設計，第一章壓縮總體設計，第一章壓縮總體設計，第二章壓縮總體設計，第二章壓縮總體設計，第二章壓縮總體設計，第壓縮總體規定，第二節人員凈化和材料凈化設施，第三節防火和疏散，第四節裝修，第五節裝配式潔凈室，第五章壓縮總體設計，第五章壓縮總體設計，第二節壓縮總體設計，第三節壓縮總體設計，第三節，清潔設計，第四節，清潔設計第1.0.2條本規范適用于新建和改建、擴建的清潔現場設計，但不適用于以細菌為控制對象的生物清潔室.

本規范有關防火疏散、消防設施章節的規定，不適用于建筑高度超過24米的高層清潔現場和地下清潔現場的設計.第1.0.3條利用現有建筑進行清潔技術改造時，清潔現場的設計必須根據生產技術的要求，根據土地條件，區別對待，充分利用現有的技術設施.第1.0.4條清潔現場設計應為施工設置、維護管理、檢查測試和安全運行創造必要條件.第1.0.5條清潔現場設計除本規范外，還應符合現行國家標準、規范要求.，第2.0.1條空氣清潔度按表2.0.1規定分為4個等級.

空氣清潔度表2.0.1，，注:空氣清潔度為100級的清潔室內大于5微米塵粒的計數，應多次采樣，多次出現時，可以認為該測試數值可靠.第2.0.2條對清潔室空氣清潔度等級的檢查，應以動態條件下測試的塵粒數為依據.

潔凈室空氣清潔度的測試應符合附錄二條規定.，第3.1.1條清潔現場位置的選擇，必須根據以下要求進行技術經濟方案的比較，一、大氣含塵濃度低、自然環境好的區域，二、必須遠離鐵路、碼頭、機場、交通要道、散發大量粉塵和有害氣體的工廠、儲藏庫、堆積場等嚴重的空氣污染、振動或噪音干擾區域，如果不能遠離嚴重的空氣污染源，則必須位于最大頻率的風向上風側，或者全年最小頻率的風向下風側第3.1.2條對兼具微振控制要求的清潔現場位置的選擇，應實際測量周圍現有振動源的振動影響，并與精密設備、精密儀表允許環境振動值進行分析比較.第3.1.3條清潔現場最大頻率風向上風側有煙囪時，清潔現場與煙囪之間的水平距離不得小于煙囪高度的12倍.第3.1.4條清潔現場與交通干燥道之間的距離不得小于50米.第3.1.5條清潔現場周圍應設置環形消防車道.

如果有困難，可以沿現場兩條長線設置消防車道.第3.1.6條清潔現場周圍的路面層，應選擇整體性好、灰塵少的材料.第3.1.7條清潔現場周圍應綠化.

可鋪設草坪，種植對大氣含塵濃度無有害影響的樹木，形成綠化區域，但不得妨礙消防操作.第3.2.1條工藝布局應符合以下要求.

一、工藝布局合理緊湊.

潔凈室和潔凈區內只配置必要的技術設備和有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室，二、在滿足生產技術要求的前提下，空氣清潔度高的潔凈室和潔凈區應接近空氣調節室的空氣潔凈度等級相同的工序和工作室應集中配置的潔凈區入口應配置空氣潔凈度等級低的工作室，三、潔凈室內要求空氣潔凈度高的工序應配置在上風側容易產生污染的工藝設備應配置在接近回風口的位置，四、考慮大型設備的設置和維護運輸路線，確保設備的設備的設置和設置，進行設置口和配置，進行最短的配置，必須進行單獨的配置.第3.2.2條清潔現場應設置較少的房間，但在以下情況下，一、根據生產的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區間，或者有防火分隔要求者，二、生產過程中產生較強的噪音，發出較多的熱量、塵粒和有害氣體，并且不能采取局部措施控制者，三、生產聯系較少，經常不同時使用的兩個生產區間.第3.2.3條清潔現場的平面和空間設計，應將清潔區清潔區域、人員清潔、材料清潔和其他輔助房間.

同時要考慮生產操作、工藝設備安裝和維護保養、氣流組織型號、管線布局、凈化空調系統等各種各樣技術設施的綜合性協調功效.第3.2.4條清潔現場的設計必須合理確定各種管道的平面位置和堅固的方向標高.第3.2.5條清潔現場內各種固定技術設施(送風口、照明器、回風口、各種管道等)的配置，首先應考慮清潔空調系統的要求.第3.3.1條清潔室內噪聲水平，一、動態測試時，清潔室內噪聲水平不得超過70分貝a.

二、空態測試時，亂流潔凈室的噪音水平不得超過60分貝a的層流潔凈室的噪音水平不得超過65分貝a.

注:①由于技術經濟條件的限制，或者噪音超過70分貝a對生產沒有影響時，噪音水平可以適當放寬，但不得超過75分貝a②上述噪音水平是指室內各工作點的耳朵位置(人離開)的測定值.

對于變動噪音，取相同位置在正常工作日內的等效連續聲壓水平.第3.3.2條清潔室噪音頻譜的限制，應采用倍頻程聲壓級別的各頻帶聲壓級別不得超過表3.3.2的規定.噪音頻譜限制表3.3.2、、第3.3.3條清潔現場的平面、剖面配置應考慮噪音控制的要求，其圍護結構應具有良好的隔音性能，應接近各部分的隔音量.第3.3.4條清潔室內各種設備應選擇低噪音產品.

輻射噪音超過潔凈室允許值的設備應設置專用隔音設施(如隔音室、隔音罩等).第3.3.5條凈化空氣調節系統噪音超過允許值時，應采取隔音、消音、隔振等控制措施.

除事故排氣外，應對清潔室內的排氣系統進行降噪設計.第3.3.6條凈化空氣調節系統，根據室內噪聲水平的要求，管道內風速應按以下規定選擇.

一、總管道為6-10米/秒，二、無送、回風口的文管道為6~8米/秒，三、有送、回風口的文管道為3~6米/秒.第3.3.7條清潔現場的噪音控制設計必須考慮生產環境的空氣清潔度要求，不必因控制噪音而影響清潔室的清潔條件.第3.4.1條清潔現場和周圍輔助站內有強烈振動的設備(包括泵等)及其通向清潔室的配管，應采取積極的隔振措施.第3.4.2條對清潔現場內外各種振動源，應測量對清潔現場的綜合振動影響.

受條件限制時，也可根據經驗評估綜合振動的影響.

并與精密設備、精密儀表的允許環境振動值進行比較，確定采取必要的田振措施.第3.4.3條精密設備、精密儀表的隔振措施應考慮減少灰塵量，保持潔凈室內合理的氣流組織等要求.

采用空氣彈簧隔振臺時，應處理氣溫，達到清潔室空氣清潔度等級.，第4.1.1條清潔現場建筑平面和空間布局應具有適當的靈活性.

潔凈區的主體結構不應采用內壁承載力.第4.1.2條潔凈室的高度由純高控制，純高度應為100毫米的基本模數.第4.1.3條清潔現場主體結構的耐久性與室內裝備和裝修水平相協調，具有防火、溫度變形控制和不均勻沉降性能(地震區應符合抗震設計規定).

現場變形縫應避免通過清潔區域.第4.1.4條送貨、回風管道和其他管道需要暗鋪時，應設置技術夾層、技術夾層或溝溝等通過極層的縱向管道需要暗鋪時，必須設置技術縱向井.第4.1.5條對一般生產和清潔生產的綜合現場，其方案設計和結構處理應避免對人流、物流運輸和防火產生不良影響.第4.2.1條清潔現場應設置人員清潔、材料清潔用房和設施，必要時應設置生活用房和其他用房.第4.2.2條人員凈化用房，應包括雨具保管室、管理室、換鞋室、保管室、洗漱室、清潔工作服室和空氣淋浴室等.

廁所、淋浴室、休息室等生活用房、工作服清洗室和干燥室等其他用房，可根據需要設置.第4.2.3條人員凈化用房和生活用房的設計，必須滿足以下要求.

一、人員凈化用房口應設置鞋清潔器.

二、保管外衣室和清潔工作服室應分別設置.

外衣柜和清潔工作柜應根據設計人數每人設置一個柜子.

三、洗漱室應設置洗手和干燥設備.

水龍頭應按最大班人數每10人設置一個.

四、清潔區不得設置廁所.

人員凈化用室內衛生間應設置前室.

五、空氣淋浴室應設置在清潔區人員入口，與清潔工作服室相鄰.

單人空氣淋浴室按最大班級人數每30人設置一臺.

只有100級垂直層流潔凈室時，可以改造閘門室.

清潔區工作人員超過5人時，空氣淋浴室側應設置旁通門.第4.2.4條人流路線應避免往復交叉.

人員凈化用房和生活用房的配置，一般按圖4.2.4人員凈化程序配置.第4.2.5條應根據空氣清潔度等級和員工數量，合理確定清潔現場員工凈化用房和生活用房的建筑面積.

一般來說，清潔區域的設計人數平均每人可以計算4~6平方米.第4.2.6條清潔工作服室內，空氣凈化需要一定的要求.第4.2.7條潔凈室的設備和材料出入口，必須根據設備和材料的性質、形狀等征用設置材料凈化用室及其設施.

材料凈化用房的配置應防止凈化后材料在傳遞過程中受到污染.第4.3.1條清潔現場的耐火等級不得低于二級.

天花板材料應為非燃燒體，耐火極限不得小于0.25小時.第4.3.2條清潔現場內一般生產工作室火災危險性，可按附錄3分類.第4.3.3條甲乙類生產的清潔現場，應采用單層現場.

其防火墻之間最大允許占地面積，單層廠房3000平米，多層廠房2000平米.第4.3.4條甲、乙類生產或設置在甲、乙類生產環境中的組裝式清潔室，其天花板和墻板(包括內部填充物).是非燃燒體.第4.3.5條在防火區內的綜合現場，其清潔生產和一般生產區間應設置非燃燒體隔墻封閉到屋頂.

隔墻及其對應頂板的耐火極限不得小于1小時，隔墻門窗的耐火極限不得小于0.6小時.穿過隔墻或頂板的管道周圍的間隙應用非燃燒材料緊密填充.第4.3.6條技術垂直井壁應為非燃燒體，耐火極限不得低于1小時.

井壁檢查門的耐火極限在0.

6小時以下的縱井內在各層或間隔一層的地板上，應采用相當于地板耐火極限的非燃燒體作為水平防火分隔的水平防火分隔的配線周圍的間隙，應采用非燃燒材料緊密堵塞.第4.3.7條清潔現場的所有生產層、所有防火區或所有清潔區的安全出口數量不得少于兩個.

但是，滿足以下要求的人可以設置安全出口.

一、甲、乙類生產現場各層總建筑面積不超過50平方米，同時生產人員總數不超過5人，二、丙、丁、戊類生產現場符合國家現行建筑設計防火規范規定者.

安全出口應分散均勻配置，從生產地點到安全出口不經過曲折人員凈化路線.第4.3.8條清潔區和非清潔區和清潔區與室外相通的安全避難門必須向避難方向打開.

安全避難門不得采用吊門、轉門、側門、電控自動門.第4.3.9條在清潔現場的同外墻可供消防員通往現場清潔區的門窗，其開口間隔在80米以上時，應在該區外墻的適當部位設置專用消防口.

專用消防口的寬度在750mm以下，高度在1800mm以下，需要明顯的標志.

樓層的專用消防口必須設置陽臺，從二樓向上設置爬樓梯.第4.4.1條清潔現場建筑圍護結構和室內裝修應選擇氣密性好、溫度和濕度等變化作用下變形小的材料.

墻面裝修需要附加結構骨架和保溫層時.

應采用非燃燒體或難燃燒體.第4.4.2條清潔室內墻壁和天花板表面，應滿足平坦、光滑、不起灰、避免眩光、除塵方便等要求，減少凹凸面，陰陽角形成圓角.

室內裝飾應用于操作.

如果是抹灰，應采用高級抹灰標準.第4.4.3條潔凈室地面應滿足平坦、耐磨、易除塵清洗、靜電不易積聚、防眩光、舒適等要求.第4.4.4條清潔現場技術三明治的墻面、天花板應抹灰.

如果需要在技術夾層內更換高效的空氣過濾器，請增加涂料的精加工.

地面、回風溝和地下技術夾層應采取防水、防潮、防霉措施.

建筑風道和回風溝內表面裝修標準應適應整個送、回風系統，易于除塵.第4.4.5條潔凈室和人員潔凈室設置的外窗，應采用雙層玻璃金屬窗，具有良好的氣密性.第4.4.6條清潔室內的密閉門應向空氣清潔度高的房間打開.

在沒有窗戶的潔凈室的密閉門上設置觀察窗.第4.4.7條潔凈室門窗、墻壁、天花板、地板(樓)面的結構和施工間隙，應采取可靠的密封措施.第4.4.8條清潔室內顏色優雅柔和.

室內各表面材料的光反射系數，天花板和墻面應為0.6-0.8的地面應為0.15-0.35.第4.5.1條在新建或改建的清潔現場設計中，面積小、層高低、空氣清潔度高的生產環境可采用組裝式清潔室.第4.5.2條組裝式清潔室的房間需要空氣凈化要求，必須符合組裝式清潔室的空氣清潔度等級.

周邊建筑的耐火等級不得低于二級.第4.5.3條組裝式清潔室的天花板可以由組裝式清潔室本身的內壁板和支柱支撐，也可以固定在周邊建筑物上.

回風溝和回風坑應設置在周邊建筑物的地面以下.第4.5.4條組裝式潔凈室設計應滿足該室內安裝壁板的要求.

組裝式潔凈室的部件，連接結構整體性強，氣密性好，組裝、拆卸、包裝、運輸方便.第4.5.5條組裝式清潔室周圍的墻板中，應該有一面或兩面貼近周圍建筑物的墻壁.

緊貼時，墻板與墻體之間的安裝間隙應封閉.

接近時，應保持清潔距離.

組裝式潔凈室時，墻板外側設有技術夾層時，墻板與周邊建筑內墻面之間的凈寬度不得小于600毫米.，第5.1.1條清潔現場各清潔室空氣清潔度等級的確定，必須滿足以下要求.

一、清潔室內有多種工序時，必須根據各工序的要求采用不同的空氣清潔度等級.

二、在滿足生產技術要求的前提下，潔凈室的氣流組織應采用局部工作區域的空氣凈化和全室空氣凈化相結合的形式.第5.1.2條層流潔凈室、亂流潔凈室、運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調節系統應分別設置.第5.1.3條清潔室內的計算溫度、濕度，一、滿足生產技術要求，二、生產技術無溫度、濕度要求時，清潔室溫度為20~26℃，濕度不足70%，三、人員清潔室和生活室溫度為16-28℃.第5.1.4條清潔室內必須保證-一定的新鮮空氣量，其數值必須取下以下風量中的最大值.

一、亂流清潔室后送風量的10-30%，層流清潔室總送風量的2~4%，二、補償室內排風，保持室內正壓值所需的新鮮空氣量，三、保證室內每人每小時的新鮮空氣量在40立方米以上.第5.1.5條清潔區的清潔，應采用移動式高效吸塵器或設置集中吸塵系統.

潔凈室內集中吸塵系統的管道，必須暗中鋪設.第5.1.6條在凈化空調系統設計中，對施工和維護管理的要求可根據附錄4和附錄5的規定.第5.2.1條清潔室必須保持一定的正壓.

不同等級的潔凈室和潔凈區和非潔凈區之間的靜壓差，不得小于0.

5毫米的水柱的潔凈區和室外的靜壓差，不得小于1.

0毫米的水柱.第5.2.2條潔凈室應維持不同正壓值所需的正壓風量，按下式計算:q=a.△(q.l)(5.2.2)，在式中q維持潔凈室正壓值所需的正壓風量(立方米/時)，a根據圍護結構的氣密性決定的安全系數，取得l.l-l.2的q米)l圍護結構的間隙長度(米).第5.2.3條圍護結構單位長度間隙泄漏風量，可按表5.2.3采用.圍護結構單位長度間隙泄漏風量表5.2.3，，第5.2.4條送風、回風和排氣系統的開關應連鎖.

系統打開時，連鎖程序首先啟動鼓風機，然后啟動鼓風機和排氣風扇.

如果系統關閉，連鎖程序應該相反.第5.2.5條非連續運行的潔凈室，可根據生產技術要求設置值班鼓風機，處理新風.第5.3.1條氣流組織的選擇，一、清潔工作區域的氣流速度，必須滿足空氣清潔度和人體健康的要求.

清潔工作區的氣流應單一，二、回風口應均勻配置在清潔室下部，三、馀壓閥應設置在清潔室氣流下風側，不應設置在清潔工作區的高度范圍內.第5.3.2條潔凈室的氣流組織和送風量，應按表5.3.2選擇.空氣流組織和送風量表5.3.2，，注:1.

垂直層流潔凈室采用相對兩側壁下部均勻配置回風口方式，只適用于兩側壁間隔不超過5米，2.

亂流潔凈室送風量的確定，應考慮室內含塵濃度不均勻擴散的因素，，第5.3.3條亂流潔凈室送風量，應取下規定的最大值:一、控制室內空氣潔凈度所需的送風量，二、表5.

32規定的送風量，三、根據熱、濕負荷和稀釋空氣所需的送風量第5.3.4條生產技術只要在潔凈室內的局部工作區域達到更高的空氣潔凈度，其氣流組織的設計就必須首先通過該工作區域，或者在潔凈室的不同區域形成不同氣流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區域，其類型分別可以根據圖5.3.4-1、圖5.3.4-2進行選擇.第5.3.5條清潔室內不應設置清潔工作臺的亂流清潔室內可設置清潔工作臺，但其位置應遠離回風口.第5.3.6條清潔室內有局部排氣裝置時，其位置應設置在工作區氣流的下風側.第5.4.1條各級空氣清潔度的空氣凈化處理應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾.

注:100，000級空氣凈化處理高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器.

(原文鏈接:http://www.

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com/a-60/)、第5.4.2條在確定集中式或分散式凈化空調系統時，應綜合考慮生產技術特點和潔凈室空氣清潔度等級、面積位置等因素.

生產技術連續、潔凈室面積大、位置集中、噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室應采用集中式凈化空調系統.第5.4.3條凈化空調系統設計應合理利用回風.

工藝過程中產生大量有害物質，局部處理不符合衛生要求或危害其他工藝時，不得利用回風.第5.4.4條凈化空氣調節系統除直流系統和值班風扇設置系統外，還應采取防止室外污染空氣通過新風口滲透到清潔室內的防倒灌措施.第5.4.5條空氣過濾器的選擇、配置和安裝方式應滿足以下要求.

一、初效空氣過濾器不應選擇浸油式過濾器，二、中效空氣過濾器應集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段，三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器應設置在凈化空氣調節系統的末端，四、中效、亞高效空氣過濾器應按額定風量選擇，五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器應設置在同一潔凈室內，六、高效空氣過濾器的設置方式應簡單可靠，應檢漏和更換.第5.4.6條送風機可根據凈化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇.

中效、高效的空氣過濾器的阻力應初始阻力的兩倍計算.第5.4.7條凈化空調系統需要電加熱時，應選擇管狀電加熱器，位置應配置在高效空氣過濾器的上風側，并采取防火安全措施.第5.5.1條潔凈室的暖氣模式，一、100級、1000級、10000級潔凈室、10000級潔凈室、不應采用散熱器暖氣l0萬級潔凈室、不應采用散熱器暖氣.

二、值班供暖可利用技術夾層散熱器間接供暖，或間歇運行凈化空氣調節系統，值班鼓風機系統進行熱風供暖.第5.5.2條散熱器應采用表面光滑、不易積塵、易于清掃的類型.第5.5.3條清潔室內產生粉塵和有害氣體的技術設備，應設置局部排氣裝置，排氣罩的操作口面積應盡量縮小.第5.5.4條局部排氣系統在下列情況下，必須單獨設置.

一、非同一凈化空氣調節系統，二、排氣介質混合后，腐蝕性、毒性、燃燒爆炸的危險性可能發生或加劇，三、排出的有害物質毒性大不相同.第5.5.5條潔凈室排氣系統的設計，一、應采取防倒灌措施，二、含易燃易爆物質局部排氣系統的防火、防爆措施.第5.5.6條換鞋室、保管室、洗漱室、廁所和淋浴室等，應采取通風措施.

其室內靜壓值應低于清潔區域.第5.5.7條潔凈室事故排氣系統的換氣次數，每小時采用15~20次.

事故排氣裝置的控制開關應分別設置在潔凈室和室外操作方便的場所，與凈化空調系統連鎖，室內應設置警報裝置.第5.6.1條管斷面尺寸的確定，應考慮清潔管內壁，在適當的位置設置密閉的清潔口.

管道壁厚按附錄6選擇.第5.6.2條凈化空氣調節系統的新管道、回氣總管應設置密閉調節閥.

送風機的吸入口和需要調節風量的地方，必須設置調節閥.

無塵廠房治理規程

無塵廠房管理規程

潔凈室內排風系統應設調節閥、止回閥或密閉閥.

總管道穿過地板和管道穿過防火墻，必須設置防火閥.第5.6.3條凈化空氣調節系統管道和調節閥、高效空氣過濾器保護網、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，必須根據輸送空氣的清潔要求及其所在空氣環境條件來決定.

清潔室內排氣系統的管道、調節閥、止回閥等附件的制作材料和涂料，必須根據排氣的性質及其空氣環境條件來決定.第5.6.4條在中效和高效效空氣過濾器前后設置測壓孔.

在新管道、送回管道和需要調節風量的管道上，必須設置風量測定孔.第5.6.5條排除腐蝕性氣體的管道可采用塑料管道.

其他管道和管道的保溫和消聲材料及其粘結刑，必須采用非燃燒材料或難燃燒材料.，第6.1.1條清潔現場供水排水干燥管，應鋪設在技術三明治、技術縱井、溝槽內或地下埋設.

潔凈室內應少鋪設配管.

引進潔凈室的支管應明亮，但對空氣潔凈度等級要求高的潔凈室可以暗淡涂抹.第6.1.2條清潔現場管道外表面有可能結露，應采取防止結露措施.第6.1.3條管道必須穿過清潔室的天花板、墻壁和地板.

管道與套管之間應采取可靠的密封措施.第5.1.4條.管道不應穿過防火墻.

必須通過時，穿墻管及其套管應為非燃燒體管材.第6.2.1條清潔現場供水系統的設計，應根據生產、生活和消防等各用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，分別設置直流、循環或再利用的供水系統.

高純水系統應設循環管道.第6.2.2條管材的選擇，一、純水管、高純水管應采用硬PVC管、聚丙烯管或不銹鋼管，二、冷卻循環供水和回水管應采用鍍鋅鋼管，三、生產用水設備與管道的連接應采用優質軟管，四、管道配件應采用適當的材料.第6.2.3條清潔現場可設置熱水供應設施的洗手間洗手間應供應熱水的軟化水、純水管適應預約清洗口的純水終端凈化裝置應放在靠近水的地方.第6.2.4條清潔現場周圍應設置灑水設施.第6.3.1條清潔現場排水系統的設計，應根據生產排出的廢水性質、濃度、水量等特點確定排水系統，具有廢水處理和綜合利用設施.第6.3.2條清潔室內的排水設備和連接重力回水管道的設備，必須在其排出口以下部分設置水封裝置，有防止水封被破壞的設施.第6.3.3條100級、1000級潔凈室內，必須設置不應設置地漏的情況下，應采用復蓋地漏，不應設置排水溝.

10,000,100,000級潔凈室內允許通過排水豎管，但豎管上不得設置檢修口.第6.3.4條清潔現場應采用不易積存污垢、易于清潔的衛生器具、管材、管架及其附件.第6.4.1條清潔現場應根據生產的火災危險性分類和建筑物耐火等級等因素決定消防設施.第6.4.2條清潔現場室內消火栓供水系統的消防用水量不得小于10升/秒，每股水量不得小于5升/秒，第6.4.3條清潔現場的消火栓設置一、消火栓水槍充實水柱，不得小于10米二、消火栓的栓口直徑為65毫米，配備的水帶長度不得超過25米，水槍口直徑不得小于19毫米.第6.4.4條潔凈室及其技術夾層和技術夾層內，應同時設置鹵素和二氧化碳等滅火設施和消防供水系統.

對于設有貴重設備儀器或生產的火災危險性大的潔凈室，火災發生時消防員難以進入救援的技術夾層和技術夾層等部位，應同時設置鹵素代烷和二氧化碳等固定滅火裝置和消防供水系統.，第7.1.1條工業氣管干管應鋪設在技術夾層、技術夾層內.

氫氣和氧氣管道應明亮鋪設在技術夾層、技術夾層內時，應采取良好的措施.

引進潔凈室的支管應明確涂抹.第7.1.2條高純氣體管道的設計，應符合以下要求.

一、根據計算確定管徑，二、管道系統應盡量短，三、不應設置預約口，四、不應出現盲管等不易吹出的部位，五、干管和支管應設置吹出口，六、管道系統應設置必要的取樣口.第7.1.3條穿過潔凈室的墻壁和地板的氣體管道，必須鋪設在埋入管道內.

套管內的管段不得有焊接.

管道與套管之間應采取可靠的密封措施.第7.1.4條氫和氧管的末端或高處應設置散管.

放散管應高出屋脊1米，并置在防雷保護區.第7.1.5條氣體凈化裝置應根據氣源和生產技術對氣體純度的要求進行選擇.

氣體終端凈化裝置應設置在接近氣點的地方.第7.1.6條氣體過濾器應根據生產技術對氣體含塵量的要求進行選擇.

高純度氣體管道應設置高氣體過濾器.第7.2.1條根據氣體及其純度和用途，配管材料應按照以下規定選擇.

一、氣體純度大于或等于99.

99%時，應采用不銹鋼管.

二、氣體純度大于或等于99.

99%時，應直接采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管.

三、氣體純度小于99.

99%時，可采用無縫鋼管.

四、管道與設備的連接段，應采用金屬管.

非金屬管時，應采用四氟乙烯管、乙烯管，不得采用乳膠管.第7.2.2條高純氣體管道應采用密封性能好的閥門和附件，其材料適應管道.

閥門的密合圈應為有色金屬、銹鋼或聚四氟乙烯材料.

閥門的填充材料應采用聚四氟乙烯材料.第7.2.3條高純氣體管道與附件連接的密封墊應采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料.第7.3.1條管道連接應焊接.

高純度氣體管道應采用插座焊接.第7.3.2條管道與設備、閥門的連接處應采用法蘭、螺紋或其他密封性能優良的連接件.

螺紋應用聚四氟乙烯帶密封.第7.3.3條高純氣體管內的內壁、閥門和附件在設置前，必須進行清洗、脫脂等預處理.第7.4.1條工業氣體管道設計的安全技術，一、氫氣管道的支管和放散管應設置防火器，二、氫氣和氧氣管應設置、各種氣管應設置明顯標志.第7.4.2條清潔室內使用氫氣時，應在室內設置警報裝置.第7.4.3條各種氣瓶應集中設置在清潔現場外.

當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可安裝在潔凈室內.，第8.1.1條清潔現場的電力負荷等級，必須根據生產技術的要求確定.

凈化空調用電負荷、照明負荷，應由變電所專線供電.第8.1.2條電源線(不包括消防用電)應設置切斷裝置，應設置在非清潔區域容易管理的場所.第8.1.3條清潔室內配電設備，應選擇不易積塵的設備，應暗裝.

大型配電設備不應設置在潔凈室內.第8.1.4條清潔室內的電線應暗敷，管材應采用非燃燒材料.

從非潔凈區進入潔凈區的電氣管口，應采取可靠的密封措施.第8.2.1條清潔室內的照明光源，應采用熒光燈.

如果不不到照明設計的技術經濟指標要求，也可以采用其他光源.第8.2.2條清潔室內一般照明燈應安裝.

燈具嵌入天花板暗裝時，其安裝間隙應采取可靠的密封措施.

潔凈室內不得采用格柵型照明器具.第8.2.3條無采光窗清潔區工作面照度值，不得低于表8.2.3的規定值.無照明窗清潔區工作面照度值表8.2.3，，第8.2.4條無照明窗清潔區混合照明中的一般照明，其照度值應按等級混合照明照度值的10-l5%采用，不得低于150勒克斯.第8.2.5條清潔現場應設置避難用事故照明.

應急安全出口和疏散通道拐角處應設置標志燈.

在專用消防口設置紅色應急照明燈.第8.2.6條清潔室內一般照明的照明均勻度不得小于0.7.第8.3.1條清潔現場凈化空氣調節控制系統應滿足生產技術對溫度、濕度和正壓的要求.

凈化空調系統采用的電加熱器，應設置無風斷電保護.第8.3.2條清潔現場內應設置與現場內外聯系的通信裝置.第8.3.3條清潔現場(包括技術夾層)應單獨或組合設置感溫、感光、感煙等形式的火災探測器.

報警器(受信臺)應設置在值班場所，供電可靠.第8.3.4條清潔區應設置緊急按鈕.

發生火災危險時，請發出警報信號，同時切斷鼓風機的電源.

，，，，潔凈室空氣清潔度測試，一、潔凈室空氣清潔度，應進行以下測試:(態測試、空氣測試:潔凈室完成，潔凈空氣調節系統正常運行，室內無工藝設備和生產人員靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統正常運行，技術設備安裝，室內無生產人員測試.

(2)動態測試，潔凈室在正常生產狀態下測試.

二、潔凈室風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪音的檢測，可按一般通用、空氣調節的相關規定執行.

三、空態、靜態測試、(一)測試前準備、1、徹底清潔潔潔凈室及其凈化空調系統.

2、采用光散射粒子計數器檢測高效空氣過濾器泄漏.

首先，測定高效空氣過濾器上風側靜壓箱內(或管道內)粒徑在0.

5微米以上的塵粒數在30000粒以上/升以上.

如果不夠的話，可以引進煙霧，開始檢查泄漏.

顆粒計數器(或泄漏檢測裝置)的取樣口距離高效空氣過濾器2~3厘米，可以以2~4厘米/秒的速度移動，掃描高效空氣過濾器的整個斷面、封口和安裝框架.

粒子計數器的讀數在空氣口大于0.

5微米的塵粒超過3粒/分鐘時上升(或其穿透率超過0.

01‰)認為這個地方有明顯的泄漏，必須堵塞.

(2)測試內容，1、總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排氣量等，2、潔凈室壓力值3、層流潔凈室斷面風速和氣流流動4、潔凈工作區域的潔凈度5、室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試6、潔凈室內噪音.

(3)清潔工作區空氣清潔度的測試方法，粒徑在0.

5微米以上的塵粒計數，應采用光散射粒子計數法.

粒徑在5微米以上的塵粒計數.

也可采用濾膜顯微鏡計數法.

光散射粒子計數法:1、光散射粒子計數器采樣量，100級:每次采樣量超過1升.

l，000級-l0，000級:每次取樣量超過0.3升.10萬級:每次取樣量超過0.1升.對于100級潔凈室，應采用大流量粒子計數器進行測試，如果沒有條件，每次采樣量可采用1升以上的粒子計數器.

2、采樣注意事項，(1)采樣管必須清潔，連接處不得泄漏.

(2)采樣管的長度應根據儀器的允許長度.

沒有規定時，不得超過1.5米.(3)采樣管口的流速應接近潔凈室斷面的平均風速.

測試人員應在采樣口下風側.

(4)采樣順序應從含塵濃度低到高.

3、測量點的配置，(l)檢查在清潔工作區域內進行.

生產技術沒有特殊要求時，采樣高度應離地面1米.

(2)層流潔凈室測量點總數在20點以上，測量點間隔為0.5~2.0米，粒徑在0.

5微米以上的塵粒數允許超過一點.

水平層流潔凈室的測量點只配置在第一潔凈工作區域.

(3)亂流潔凈室可根據潔凈面積小于50平方米配置5個測量點(附圖2).

每增加20-50平方米，增加3-5個測量點.

4、數據整理(1)各測量點的數據整理應在測量儀器穩定運行的條件下連續三次取樣，取其平均值，即該點的測量數值.

(2)決定大于或等于0.

5微米的塵粒數:層流潔凈室取各測定點的最大值，亂流潔凈室取各測定點的平均值.

(4)正壓值測定應采用精度可達0.

01毫米水柱的微壓計.

四、動態測試.

在清潔工作區域的操作場所選擇具有代表性測量點的氣流方向，測試方法與空態、靜態測試相同.

，清潔現場生產的火災危險性分類例如0#，清潔空氣調節系統設計對施工的要求，一、管道、靜壓箱和附件的施工應滿足以下要求:(一)施工現場應保持清潔.

管道及其附件、靜壓箱、空調器、技術三明治、機械室及其他設備、裝置等的清掃作業應在施工的同時進行(2)管道、靜壓箱、附件等制作后，應保管在清掃、干燥的場所，采取防止灰塵堆積的措施(3)復合鋼板、鍍鋅鋼板制作的管道，加工、安裝、施工過程中造成的損補充涂料(4)清掃、擦拭應選擇不產塵、不產生纖維的工具和材料.

二、高效和亞高效空氣過濾器的設置，必須滿足以下要求:(一)土建工程、凈化空調系統的初期效果、中期效果空氣過濾器的設置完成，全系統必須在檢查、擦拭、吹洗運行12小時后進行，(二)高效空氣過濾器在設置時必須從保護袋中取出過濾紙破損、橡膠泄漏和外框變形的，不得安裝(3)過濾器與安裝框架之間，必須采取密封措施(4)過濾器安裝到位后，必須進行泄漏檢測和泄漏檢測.

三、組裝式清潔室、空氣淋浴室、空氣閘門室、馀壓調節閥等凈化設備和部件的設置，必須嚴格按照產品的設置、施工要求進行.

，凈化空調系統設計對維護管理的要求，一、潔凈室空氣，應按附表5的規定監測，潔凈室空氣監測頻率為附表5，1#，凈化空調系統管壁厚管壁厚附表6，2#，本規范用語說明，一、執行本規范條文時，要求嚴格的用語說明如下，在執行中區別對待.

1、表承嚴格，必須這樣制作不可或缺的詞語.

正面詞采用必要，反面詞采用嚴禁.

2、表示嚴格，一般情況下應該使用這樣的語正面詞采用應，反面詞采用不應或不應.

3、表示允許有一點選擇，條件允許時，首先應該這樣做的詞:正面詞采用合適或可，反面詞采用不合適.

二、條文中明確記載了必須按照其他相關標準和規范執行的寫法.沒有必要.沒有必要.必須按照指定的標準和規范執行的寫法.

，，文章來源:http://www.

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com/，清潔現場設計規范GBJ73-4(清潔室設計標準)舊全文，文章來源:http://www.

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com/分鐘2012年07月12日.

潔凈車間規章制度

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