計劃方案介紹:
電子光學微電子技術潔凈工程亦名潔凈室或清靜室,現階段已經是半導體材料、精密制造、lcd屏生產制造、電子光學生產制造、pcb線路板
生產制造和細胞生物學、藥業、食品類生產制造等領域必不可少的關鍵設備。近年來,因為技術性之改革創新,針對產
品的高精度化、細微型化之要求更加急切,如特大型積體電路之科學研究生產制造,已變成世界各地在智能科技
上極其高度重視的新項目,可是我企業的設計構思及施工工藝在領域中則處在 影響力。
電子光學微電子技術潔凈工程之界定為將一定室內空間范疇內之空氣中的浮塵顆粒、有危害氣體、病菌等之污染物質排
除,并將房間內之溫度濕度、潔凈度等級、房間內工作壓力、氣旋速度氣旋遍布、噪聲振動及照明燈具、靜電感應操縱在某一
要求范疇內,而所給于尤其設計方案之密閉空間。
凈化車間/凈化室的目地以下:
作用一:過慮循環系統氣體提議潔凈自然環境,
作用二:調整氣體創建恒溫恒濕設備自然環境。
作用三,創建正壓力自然環境防止外氣環境污染
電子光學微電子技術潔凈工程一般包含:
1、 清潔廠區
2、 清潔輔助間(包含工作人員凈化處理用地、原材料凈化處理專室和一部分日常生活專室等)
3、 工業園區(包含辦公室、值勤、管理方法和歇息等)
4、 機器設備區(包含空調凈化系統應用、電氣設備用地、工業純水和高純度氣用地、熱冷機器設備用地)
電子光學微電子技術潔凈工程凈化處理基本原理
氣旋→初效凈化處理→中央空調→中效過濾器凈化處理→離心風機排風→管路→高效率凈化處理出風口→吹進屋子→帶去浮塵病菌
等顆粒物
→ 送風百葉窗簾→初效凈化處理 反復之上全過程,就可以做到凈化處理目地。
電子光學微電子技術潔凈工程凈化處理主要參數
換風:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥三十次。
壓力差:主生產車間對鄰近屋子≥5Pa
均值風力:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬天>16℃;夏天 <26℃;起伏±2℃。
溫度45-65%;GMP顆粒劑生產車間環境濕度在50%上下為宜;電子器件生產車間環境濕度略高以防造成靜電感應。
噪音≤65dB(A);
新風系統填補量是總送排風量的10%-30%;
光照強度300LX。
電子光學微電子技術潔凈工程構造原材料
1. 凈化車間墻、頂板才一般多選用50毫米厚的夾心彩鋼板生產制造,其特性為美觀大方、剛度強。弧形墻 角、門、
窗子等一般選用專用型空氣氧化鋁合金型材生產制造。
2.路面可選用環氧樹脂自流坪環氧地坪或高級耐磨損塑膠地板,有抗靜電規定的,可采用抗靜電型。
3.送回風口用熱渡冷軋鋼板做成,貼凈化處理隔熱保溫效果非常的好的阻燃性型PF聚氨酯發泡塑料板材。
4.高效過濾器用不銹鋼板架構,美觀大方清理,沖孔網板用噴漆鋁合金板,不銹蝕不粘塵,宜清理。