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半導體無塵車間管理制度整理

發布時間:2021-04-27 12:38 人氣: 來源:

半導體無塵車間管理規章制度梳理,
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, 1.0無塵車間管理的目地,半導體商品生產過程對車間有確立的清潔規定,為了更好地達到生產工藝流程必須、確保產品品質、生產安全,務必對凈化室的自然環境、工作人員、原材料、機器設備、生產過程等開展操縱。有關大量 無塵車間管理請參照: http://si-sheng.com/news-5/,
, 2.0無塵車間管理的標準,2.1        進到凈化室的管理,包含對凈化室工作員進到、原材料進到、各種機器設備的搬進及其有關的機器設備、管道的維護保養管理,應保證不可將粒子、微生物菌種帶到凈化室。,2.2        實際操作管理技術性,對清潔房間內工作人員用潔凈服的制做、衣著和清理;實際操作工作人員的挪動和姿勢;房間內機器設備及家裝材料的挑選和清理、滅茵等,盡量地降低、避免清潔房間內細顆粒物、微生物菌種的造成、停留、繁育等。,2.3        嚴苛各種機器設備、設備的維護保養管理,制訂相對應的安全操作規程,確保各種機器設備、設備按要求一切正常運行,包含空調凈化系統軟件、各種水汽電系統軟件、生產制造工藝技術和安全工器具(夾具工裝)等。以保證 商品生產工藝流程規定和氣體潔凈室等級。,2.4        清理、殺菌管理,對 凈化室內的各種機器設備、設備的清理、滅茵及其方式 、周期時間和查驗作確立的要求,避免、捎除清潔房間內細顆粒物、微生物菌種的造成、停留、繁育。,2.5        凈化室自然環境操縱的內容包含:空氣過濾、清潔工程建筑、與商品直接接觸的水或汽體或化工品和生產線設備、安全工器具等的空氣污染物操縱及其微震動、噪音、靜電感應的操縱、避免等。,
, 3.0應用領域, 半導體企業全部清潔廠區及清潔輔助間(包含工作人員凈化處理專室、原材料凈化處理專室和有關日常生活專室等)、車間內管理區(包含一部分辦公室、值勤、管理和休息室等)和未來新創建、改造、改建的凈化車間以及輔助用地。,
, 4.0專業術語:無,
, 5.0管理程序流程,
, 5.1無塵車間凈化室工程施工管理規章制度,5.1.1情況,5.1.1.1半導體加工制造業務必在清潔的自然環境中開展,在施工現場務必遵照領域標準和程序流程。本文檔列舉了這種標準和程序流程的概述。為了更好地確保新項目的取得成功,當場的每一位工作人員都務必遵循。,5.1.1.2圖紙上針對工程施工的清潔基本建設議案將被申請強制執行。這包含除開原材料和制成品庫房之外的所有主工業廠房內的地區。,5.1.1.3凈化室工程施工管理規章制度現階段關鍵對于一期主工業廠房內的部分更新改造和改建,中后期全部凈化室工程施工新項目仍依照本規章制度要求的標準開展管理。,5.1.2義務與責任,5.1.2.1全部承包單位有義務保證 她們的職工都掌握這種標準和程序流程,而且在她們疏忽遵循或違背時給與學習培訓和訓煉。被分派到清潔基本建設地區的每名職工有責任和義務了解并遵循清潔基本建設標準和程序流程。,5.1.2.2承包單位承擔實行凈化室議案。他將每日對清潔基本建設地區開展查驗,并填好查驗明細。承包單位承擔出示凈化室所需物件,比如:腳套,純棉毛巾,軟墊和工作服。他也承擔出示每日實行清潔標準和程序流程的工作人員和機器設備。,5.1.2.3承包單位修建地區通道并對其開展管理。他出示清理晾干每一個入口鞋、外衣和衣服褲子的清理店。他將對在清潔地區工作中的工作人員開展學習培訓,并維護保養被容許在這里地區工作中的工作人員真實身份評定和管理。,5.1.2.8開始環節,承包單位應在每一個入口分配工作人員(除非是半導體企業在該入口分配有工作人員)以保證 本標準和程序流程的實行。 ,5.1.2.5反復違背標準和程序流程的工作人員將被辭退。沒有貫徹實施本標準和程序流程的經銷商將被開除。,
, 5.2無塵車間潔凈度等級按時檢驗規章制度/精確測量規范,5.2.1       為了更好地確保凈化室的潔凈度等級達到加工工藝規定,務必按時對清潔房間內的潔凈度等級開展檢驗。,5.2.2       檢驗檢測設備:激光器顆粒記數器,5.2.3       檢驗周期時間:每星期一上午、中午對各清潔地區開展一次檢驗,5.2.4       檢驗標準:靜態數據潔凈度等級檢測,5.2.5       數據信息搜集整理:將每一次檢驗的結果鍵入中控室的電腦上中存儲,并在每一個季末(或下季度初)給各單位發該一季度的潔凈度等級紀錄數據圖表電子版通告給各單位。,5.2.6       各清潔地區清潔等級規范:依照《半導體企業電力能源管理規范》規定實行。,5.2.7       凈化室用空調凈化系統軟件及機器設備的維護保養管理與相對應的安全操作規程、檢修規章制度等(包含空調凈化系統軟件和凈化室有關的公共動力裝置的機器設備、管道等管理維護保養,如,空氣過濾網、空調、部分油煙凈化器、制冷機組及離心水泵、反滲透設備、變電設備、安全性警報設備等)實行威世半導體(西安市)有限責任公司廠務部有關SOP文檔。,
, 5.3凈化室工作人員管理規章制度,5.3.1凈化室的工作人員管理包含:制訂職業管理工作人員的崗位職責、凈化室工作人員的準入條件規章制度、人員管理文化教育要求、進到凈化室工作人員的“人凈程序流程”管理和撤出管理規章制度等。,5.3.兩人員凈化處理與進到,5.3.2.1  在 凈化車間內諸多的污染物中,人是關鍵污染物之一,尤其是工作員在清潔自然環境中的主題活動,會顯著地提升清潔自然環境的環境污染水平。,5.3.2.2  針對高級別清潔地區,應嚴控進到工作人員總數,并標準開展二次換衣。,5.3.2.3  要得到工作環境所必須的氣體潔凈室等級或增加空氣過濾網的使用期限,對進到凈化室的工作人員、原材料開展凈化處理十分必要。,5.3.2.4  為維持凈化室氣體潔凈度等級,應盡量避免進到凈化室工作人員帶到的空氣污染物。全部進入凈化室的工作人員務必嚴苛地按照規定程序流程開展人身安全凈化處理。,5.3.2.5  本人衣服褲子物件所有放進特定的木柜里,除掉畫妝,換掉特定的服飾,按氣體潔凈室等級相對應的脫衣服次序脫衣服,放到要求的衣櫥內。,5.3.2.6  進到脫衣服室,在更衣凳前將真皮皮鞋、涼拖、匡威帆布鞋等脫掉放到鞋架內,嚴禁不把鞋脫掉立即超越更衣凳而進到更衣間。,5.3.2.7  若企業中后期發展趨勢必須高些清潔等級規定的清潔地區(指高過ISO Class7等級)進到前,必須設定盟洗室用洗手消毒器洗手消毒(先用清潔洗潔劑清洗,再用清潔水清洗。清洗后用全自動烘手器風干)。,5.3.2.8  但凡交叉式環境污染的媒體,要常常清洗。不必拿手碰觸高凈化設備和高凈化處理包裝制品等。要按照規定戴手套和護指。,
,全文來源于:http://si-sheng.com/, 半導體無塵車間管理規章制度梳理,

半導體無塵車間管理規章制度梳理




1.0無塵車間管理的目地

半導體商品生產過程對車間有確立的清潔規定,為了更好地達到生產工藝流程必須、確保產品品質、生產安全,務必對凈化室的自然環境、工作人員、原材料、機器設備、生產過程等開展操縱。有關大量無塵車間管理請參照:http://si-sheng.com/news-5/


2.0無塵車間管理的標準

2.1        進到凈化室的管理,包含對凈化室工作員進到、原材料進到、各種機器設備的搬進及其有關的機器設備、管道的維護保養管理,應保證不可將粒子、微生物菌種帶到凈化室。

2.2        實際操作管理技術性,對清潔房間內工作人員用潔凈服的制做、衣著和清理;實際操作工作人員的挪動和姿勢;房間內機器設備及家裝材料的挑選和清理、滅茵等,盡量地降低、避免清潔房間內細顆粒物、微生物菌種的造成、滯留、繁殖等。

2.3        嚴苛各種機器設備、設備的維護保養管理方法,制訂相對應的安全操作規程,確保各種機器設備、設備按要求一切正常運行,包含空調凈化系統軟件、各種水汽電系統軟件、生產制造工藝技術和安全工器具(夾具工裝)等。以保證 商品生產工藝流程規定和氣體潔凈室等級。

2.4        清理、殺菌管理方法,對凈化室內的各種機器設備、設備的清理、滅茵及其方式 、周期時間和查驗作確立的要求,避免、捎除清潔房間內細顆粒物、微生物菌種的造成、滯留、繁殖。

2.5        凈化室自然環境操縱的內容包含:空氣過濾、清潔工程建筑、與商品直接接觸的水或汽體或化工品和生產線設備、安全工器具等的空氣污染物操縱及其微震動、噪音、靜電感應的操縱、避免等。


3.0應用領域

半導體公司全部清潔廠區及清潔輔助間(包含工作人員凈化處理專室、原材料凈化處理專室和有關日常生活專室等)、生產車間內工業園區(包含一部分辦公室、值勤、管理方法和休息室等)和未來新創建、改造、改建的凈化車間以及輔助用地。


4.0專業術語:無


5.0管理流程


5.1潔凈車間潔凈室工程施工管理方案

5.1.1情況

5.1.1.1半導體材料加工制造業務必在清潔的自然環境中開展,在施工現場務必遵照領域標準和程序流程。本文檔列舉了這種標準和程序流程的概述。為了更好地確保新項目的取得成功,當場的每一位工作人員都務必遵循。

5.1.1.2圖紙上針對工程施工的清潔基本建設議案將被申請強制執行。這包含除開原材料和制成品庫房之外的所有主工業廠房內的地區。

5.1.1.3凈化室工程施工管理方案現階段關鍵對于一期主工業廠房內的部分更新改造和改建,中后期全部凈化室工程施工新項目仍依照本規章制度要求的標準開展管理方法。

5.1.2義務與責任

5.1.2.1全部承包單位有義務保證 她們的職工都掌握這種標準和程序流程,而且在她們疏忽遵循或違背時給與學習培訓和訓煉。被分派到清潔基本建設地區的每名職工有責任和義務了解并遵循清潔基本建設標準和程序流程。

5.1.2.2承包單位承擔實行凈化室議案。他將每日對清潔基本建設地區開展查驗,并填好查驗明細。承包單位承擔出示凈化室所需物件,比如:腳套,純棉毛巾,軟墊和工作服。他也承擔出示每日實行清潔標準和程序流程的工作人員和機器設備。

5.1.2.3承包單位修建地區通道并對其開展管理方法。他出示清理晾干每一個入口鞋、外衣和衣服褲子的清理店。他將對在清潔地區工作中的工作人員開展學習培訓,并維護保養被容許在這里地區工作中的工作人員真實身份評定和管理方法。

5.1.2.8開始環節,承包單位應在每一個入口分配工作人員(除非是半導體公司在該入口分配有工作人員)以保證 本標準和程序流程的實行。 

5.1.2.5反復違背標準和程序流程的工作人員將被辭退。沒有貫徹實施本標準和程序流程的經銷商將被開除。


5.2凈化車間潔凈度等級按時檢驗規章制度/精確測量規范

5.2.1       為了更好地確保凈化室的潔凈度等級達到加工工藝規定,務必按時對清潔房間內的潔凈度等級開展檢驗。

5.2.2       檢驗檢測設備:激光器顆粒記數器

5.2.3       檢驗周期時間:每星期一上午、中午對各清潔地區開展一次檢驗

5.2.4       檢驗標準:靜態數據潔凈度等級檢測

5.2.5       數據信息搜集整理:將每一次檢驗的結果鍵入中控室的電腦上中存儲,并在每一個季末(或下季度初)給各單位發該一季度的潔凈度等級紀錄數據圖表電子版通告給各單位。

5.2.6       各清潔地區清潔等級規范:依照《半導體公司能源管理標準》規定實行。

地區、系統軟件名字

清潔級別規范

等同于ISO等級

等效于GB級別

K-1系統片區地區


靜態數據一萬級  

K-1系統更新改造前為靜態數據十萬級 

CLASS 7

CLASS 8

CLASS 7

CLASS 8

K-2系統包封地區

靜態數據三十萬級 

CLASS 8.3

CLASS 8.3

K-3系統搪錫地區

靜態數據三十萬級 

CLASS 8.3

CLASS 8.3

K-4系統檢測地區

靜態數據三十萬級 

CLASS 8.3

CLASS 8.3

K-8系統電鍍工藝地區

靜態數據三十萬級 

CLASS 8.3

CLASS 8.3

目前別的空調機組

舒適性空調系統軟件,無清潔規定 

Not Applicable

Not Applicable

5.2.7       凈化室用空調凈化系統軟件及機器設備的維護保養管理方法與相對應的安全操作規程、檢修規章制度等(包含空調凈化系統軟件和凈化室有關的公共動力裝置的機器設備、管道等管理方法維護保養,如,空氣過濾網、空調、部分油煙凈化器、制冷機組及離心水泵、反滲透設備、變電設備、安全性警報設備等)實行威世半導體材料(西安市)有限責任公司廠務部有關SOP文檔。


5.3凈化室工作人員管理方案

5.3.1凈化室的員工管理包含:制訂職業管理者的崗位職責、凈化室工作人員的準入條件規章制度、人員管理文化教育要求、進到凈化室工作人員的“人凈程序流程”管理方法和撤出管理方案等。

5.3.兩人員凈化處理與進到

5.3.2.1  在凈化車間內諸多的污染物中,人是關鍵污染物之一,尤其是工作員在清潔自然環境中的主題活動,會顯著地提升清潔自然環境的環境污染水平。

5.3.2.2  針對高級別清潔地區,應嚴控進到工作人員總數,并標準開展二次換衣。

5.3.2.3  要得到工作環境所必須的氣體潔凈室等級或增加空氣過濾網的使用期限,對進到凈化室的工作人員、原材料開展凈化處理十分必要。

5.3.2.4  為維持凈化室氣體潔凈度等級,應盡量避免進到凈化室工作人員帶到的空氣污染物。全部進入凈化室的工作人員務必嚴苛地按照規定程序流程開展人身安全凈化處理。

5.3.2.5  本人衣服褲子物件所有放進特定的木柜里,除掉畫妝,換掉特定的服飾,按氣體潔凈室等級相對應的脫衣服次序脫衣服,放到要求的衣櫥內。

5.3.2.6  進到脫衣服室,在更衣凳前將真皮皮鞋、涼拖、匡威帆布鞋等脫掉放到鞋架內,嚴禁不把鞋脫掉立即超越更衣凳而進到更衣間。

5.3.2.7  若企業中后期發展趨勢必須高些清潔等級規定的清潔地區(指高過ISO Class7等級)進到前,必須設定盟洗室用洗手消毒器洗手消毒(先用清潔洗潔劑清洗,再用清潔水清洗。清洗后用全自動烘手器風干)。

5.3.2.8  但凡交叉式環境污染的媒體,要常常清洗。不必拿手碰觸高凈化設備和高凈化處理包裝制品等。要按照規定戴手套和護指。


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