OLED 元器件是在清潔房間內開展生產制造的，潔凈室工程品質優劣，決策著生產流水線良品率的高矮，從而危害生產成本。

我企業修建了一個OLED 試驗線潔凈室工程，文中將系統軟件詳細介紹該潔凈室工程管理方法的關鍵點。

1 項目概況

該新項目主工業廠房生產制造地區為雙層混凝土結構框架剪力墻及門式鋼架構造，混泥土平屋面選用軟性高分子材料防水卷材平屋面, 鋼架結構平屋面選用機械設備固定不動的防水卷材平屋面方法，一層層高4.8 m，二逐層高六.4 m，一層技術性下隔層與二層廠區中間的混凝土樓板選用華夫板方法，運用華夫板上的打洞達到雙層中間的送風，華夫板上設定導電率防靜電地板，機器設備依據加工工藝規定布局在防靜電地板或華夫板上。

2 設備合理布局

一層關鍵包含的作用屋子為技術性下隔層，送風夾道，沿下隔層地區四周布局有過廳、脫鞋區、一更、化工品供貨、特種氣體供貨、廢水搜集、污水提高站、制冷冷卻循環水站、純凈水打磨拋光間、真室內空間、配電站、原材料儲存間、制成品儲存間等。

二層是大進深的加工工藝廠區，布局生產線設備。該層與技術性下隔層中間的構造混凝土樓板是有一定開孔率的華夫板，華夫板上邊安裝空架防靜電地板，以達到送風的規定；生產制造設備層的裝修吊頂安裝離心風機過濾器模塊（FFU），以達到生產制造層凈化處理規定。

二層關鍵凈化處理區包含的地區有 PVD/CVD、光刻技術間、掩膜清理、引入間、RTA、ELA、CVD、基鋼板清理間、小塊激光切割、蒸鍍、片區、UV 硬底化、基鋼板激光切割間、探頭、列陣檢驗間、緩沖間、有車庫、FMM庫、QA、送風夾道等，關鍵凈化處理區周邊的其他作用屋子包含有潔凈空調機房、電氣設備室、高低壓配電室、檢修間、材料庫等。在關鍵凈化處理廠區的兩邊設計方案送風、管路立井，產生凈化室內空氣的循環系統控制回路。而且在工程建筑的兩側各設計方案好幾部室內樓梯，產生各層對戶外的消防疏散安全通道為達到凈化處理生產制造的微振規定，二層的混凝土樓板――華夫板擬選用偏厚的破孔混凝土樓板構造，華夫表面刷環氧樹脂膠建筑涂料，為達到生產工藝流程的靈便布局并提升 凈化處理總面積的應用高效率，生產制造工作人員經主通道過廳進到脫鞋區，再進到一次換衣，根據職工專用型室內樓梯進到二層二次更衣間，再根據不銹鋼風淋室進到廠區。

凈化室空調機組由 MAU（新風系統解決系統軟件） FFU  干風機盤管一同組成。廠區裝修吊頂由離心風機過慮模塊（FFU）與金屬材料裝修吊頂架構構成，FFU 視各生產制造機器設備必須之級別均布，普及率隨生產工藝流程要求而定。新風系統由 MAU（新風系統解決系統軟件）集中化運輸后與房間內的循環系統風混和，經FFU 充壓、過慮后送進廠區。生產制造區域內機器設備、工作人員、照明燈具、排架結構等冷負載均由干風機盤管擔負。清潔室內濕度及正壓力操縱由 MAU 承擔。MAU 供排風量要求約 50000CMH×2 1 臺，凈化室循環系統排風量約773000 CMH。新風系統通道附屬不織布手工過濾網及庫板隔斷制動氣室于新風系統制冷機組通道前，增加關鍵過濾網使用壽命。

在化工品庫、汽體間設定單獨的空調機組,新風系統經解決后送進房間內，隨后根據通風系統全部排至戶外，氣體不循環系統應用。

加工工藝通風系統：在加工工藝生產過程中會造成含酸、堿、溶劑、高熔點有機化學、危害等有機廢氣。為維護生產制造工作人員的身心健康，降低對辦公環境及工業區周邊氣體的環境污染，各自設計方案了相對應的部分通風系統、整屋通風系統及有機廢氣處理系統軟件。為清除加工工藝廠區工藝技術等釋放的發熱量所設計方案的部分通風系統、整屋通風系統的排風系統不需解決可立即排進空氣。為清除加工工藝廠區工藝技術釋放的含酸、堿、溶劑、高熔點有機化學、危害等有機廢氣的部分通風系統，排風系統須先經過有機廢氣凈化塔等有機廢氣處理設備解決，做到我國環保標準后才可以排進空氣。加工工藝通風系統排煙風機排風量設置約 S T R 4 0 0 C M H × 1 1 臺；G E X - D18000CMH×1 1臺；EX-W & GEX-H 12300CMH×1臺，備用機與 GEX-D同用；SEX 16 000CMH×1 1臺；ORG 4 000 CMH×1 1 臺，全部加工工藝排煙風機均帶軟啟動器。

防、排風系統：針對超過300 m2的地面上屋子、長短超過 40 m的疏散走道、長短超過20 m的內過道設定消消火栓系統。以高寬比為50 cm的擋煙垂壁區劃防煙分區，較大 防煙分區的總面積為500 m2。消防排煙風機的排風量為 72 000 m3/h（60 000×1.2 倍）。密閉式屋子設定機械設備排風系統時，另外設定機械設備送風系統軟件，補排風量為排煙系統量的50%。消防救援窗以及前處理室、消防安全電梯前室或合用前室設定防排煙系統設備。

3 清潔級別規定

關鍵凈化處理區 0.3 ìm、ISO 5.5，輔助地區 0.3ìm、ISO 6. 5。其工藝流程環境監控系統見表1 。

4 工程施工關鍵剖析

4.1 基本建設全過程務必遵照凈化室基本建設四項原則

（1）不帶到。

（2）不造成。

（3）不累積。

（4）迅速除去。

不帶到，便是不向凈化室拉人一切塵土，務必保證 下列標準：

（1）高效送風口與構造不造成塵土泄露。

（2）維持凈化室正壓力。

（3）工作人員經換衣脫鞋、風淋室后才可進到凈化室。

（4）原材料與機器設備經清理后才可進到凈化室。不造成，便是沒有凈化室造成一切塵土，務必保證 下列標準：

（1）工作人員需穿潔凈服。

（2）不應用非常容易造成塵土的原材料與機器設備。

（3）不開展多余的挪動。

（4）不帶到無用具。不累積，便是沒有凈化室累積一切塵土，必

須保證 下列標準：

（1）不使機器設備角和四周清理艱難。

（2）凈化室盡可能不曝露通風風管和管路。

（3）遵循規范化凈化處理工作中程序流程。

迅速除去，便是迅速除去清潔房間內塵土，必

須保證以下幾個方面：

（1）提升通氣率。

（2）在挨近造成塵土的地區設定氣水分離器。

（3）選用適合的氣旋方式以防止塵土粘在商品上。

4.2 根據之上標準，凈化室工程施工重點工作

搞好凈化室氣密性阻隔，將凈化室與外部徹底防護，保證 外部空氣污染物不可以進到凈化室范疇，在宣布內裝排架結構沒完成前，先做臨時性防護設備。

創建三級清潔管控，保證 工程施工各環節合乎相對應凈化處理管控規范。

架空地板開孔率測算及填料、盲板遍布。為確保華夫板送風勻稱，從送風夾道向另一側盲板的遍布率下降以均衡氣旋，避免短路故障。

保證 內裝排架結構的密封性，潔凈區外場墻面、現澆板務必維持嚴實，禁止外氣泄露進到凈化室。保證 送風夾道的密閉式，包含干風機盤管墻的密閉式及送風夾道圍護結構構造的密封性，以確保干盤管的橫斷面風力、排風量規定，另外避免氣旋短路故障，沒經干盤管直接進入靜壓箱。

進到二級清潔管控環節，盡早在潔凈室內創建正壓，方式 是利用新風發電機組為房間內出示新風，創建正壓，在新風機外界的新風吸進口增設無防布過慮新風，以增加新風機身初、中效過濾器的使用期限。

潔凈室工程施工進行后，歷經調節、檢驗，潔凈室各類數據信息均合乎設計方案指標值。

5 總結

根據對本新項目工程施工實踐活動的小結，認證了新項目清潔管理方法關鍵的準確性，潔凈室工程施工管理，要嚴苛遵照潔凈室基本建設四項原則，可保證 潔凈室建設工程的取得成功。