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半導體無塵車間設計標準

發布時間:2023-08-21 10:05 人氣: 來源:未知

半導體無塵車間設計標準.得創凈化工程專業從事半導體無塵車間工程規劃,設計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
電子廠的生產車間一般全是無塵凈化車間,那樣的自然環境才能考慮于一些儀表儀器生產制造的需求,而要想做到這一規定,電子廠無塵凈化車間整體規劃就看起來至關重要了。那麼電子廠無塵凈化車間整體規劃留意關鍵點是什么?東莞豐特凈化工程老師來為大家分析一下。

半導體無塵車間標準

卓為機電結合相關行業經驗,直觀化的總結出以下三個標準要求
一、?氣流組織
十萬級無塵凈化車間主要采用的回風方式單側墻下部布置回風口當采用走廊回風時,在走廊內均勻布置回風口或在走廊端部集中設置回風口。送風口風速米秒
十萬級無塵凈化車間主要采用的送風方式局部孔板頂棚送風帶擴散板?高效空氣過濾器頂棚送風
二、十萬級無塵凈化車間工作環境規定
1、十萬級對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著 潔凈工作服不產生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈車間濕度控制在50-70%。配電:潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為
2、落塵量檢查每三個月委外檢查并附檢查效果至公司處理部存檔
三、室內空氣參數需求
1、新風量大。由于這類車間內,人員比較多,能夠依據以下數值應取下列的大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和堅持室內正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內每人每小時的新鮮空氣量
2、溫濕度需求:溫度通常為24+2 度 ,為
送風量大。為了滿意?無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡,需求較大的送風量,就平方米的車間,吊頂高度為
無塵車間等級標準

半導體無塵車間標準 半導體無塵車間標準
   

半導體無塵車間美國宇航局標準NHB5340.2中的潔凈等級

美國宇航局標準NHB5340.2中的潔凈等級


生物

潔凈

標準

塵埃

生物粒子

壓力

溫度

濕度

氣流

照度

粒徑

(μm)

個/L

浮游量

(個/L)

浮沉量

(個/m2周)

mmH2O


%

換氣

次數

Lx

100

0.5

≤3.5

≤0.0035

12900

1.25

指定數

40~45

 

1000~1620

10000

0.5

5.0

≤350

≤2.3

≤0.0176

64600

1.25

 

100000

0.5

5.0

≤3500

≤23

≤0.0884

323000

1.25

 


 

半導體無塵車間標準 半導體無塵車間標準
   

半導體無塵車間布局設計要求

無塵車間一般包括:清潔區、準清潔區、輔助區三部分,要注意它們的布置方式
1、外廊環繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設備用,有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
2、內廊式:無塵車間設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的清潔度級別一般都比較高,甚至和無塵車間同級。
3、兩端式:潔凈區設在一邊,另一邊設準潔凈和輔助用房。
4、核心式:為了節約用地、縮短管線,可以潔凈區為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響,減少了冷熱能耗,利于節能。

半導體無塵車間凈化空調機組的安裝必須注意以下幾條

1.組合式空調機組各部件的清理衛生,外觀及品牌檢驗必須符合要求并做好記錄
2.空調平基礎平臺,墊以橡膠板減振,各功能段連箱要嚴密
3.注意正壓段設內開門,負壓段設外開門,檢查門要密封
4.凈化空調系統擴散孔板待每個高效過濾器掃描撿漏合格后才可安裝,未盡要求參見本公司安裝操作規范
穿越潔凈室的所有管道應加以套管,并填表充不燃不產塵的密封材料封閉,以保證潔凈室的密閉性。要注意不能在潔凈區內使用易產塵保溫材料,同時不能用空心鉚釘固定保溫裝飾屋

半導體無塵車間標準驗收標準

三十萬級的無塵車間的驗收標準一般有懸浮粒子含量、微塵粒子數目、潔凈度、壓差及溫濕度控制、換氣次數、空氣潔凈度等級等方面的條件作為驗收標準的
1、懸浮粒子含量
三十萬級無塵車間標準空氣潔凈度是潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度。通常空氣中含塵濃度低則空氣潔凈度高,含塵濃度高則空氣潔凈度低
按空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關受控環境中空氣潔凈度等級,就是以每立方米空氣中的最大允許粒子數來確定其空氣潔凈度等級
2、微塵粒子數目
三十萬級無塵車間標準以每立方米>=0.5μm微塵粒子數目來設定的,十級就是在每立方米內有0.5μm微塵粒子的數量是10個,以此類推
廠房一般有萬級,十萬級和三十萬級,其中以十萬級(灌裝,內包裝)及三十萬級最多,十萬級較三十萬級潔凈度衛生要嚴格很多
3、潔凈度
每立方米大于或等于0.5μm的塵粒最多不能超過10,500,000個;每立方米大于或等于5μm的塵粒最多不能超過60,000個;每立方米浮游菌數量最多不能超過1000個
4、壓差及溫濕度控制
(1)壓差:不同潔凈級別潔凈室(區)之間,靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區)與室外,靜壓差大于或等于
(2)溫濕度:溫度18~28℃;濕度
5、換氣次數
每小時換氣次數不能小于12次
6、空氣潔凈度等級
潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。用空態和靜態方法進行測試

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